[实用新型]补充掺杂装置及直拉单晶炉

权利要求书

1.一种补充掺杂装置，用于直拉单晶炉内，其特征在于，包括储料部，连接杆和外转接部，其中，所述外转接部的一端用于与所述直拉单晶炉连接，所述外转接部的另一端与所述连接杆一端可拆卸连接，所述连接杆另一端与所述储料部一端连接，所述储料部另一端设有出料口；所述储料部包含储料腔，所述出料口至所述储料腔轴心的垂直距离小于所述储料腔内壁至所述储料腔轴心的最小垂直距离。

2.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述连接杆包括连接段和掺杂段，所述连接段一端与所述外转接部可拆卸连接，所述连接段另一端与所述掺杂段一端连接，所述储料部一端与所述掺杂段另一端连接，所述连接段沿单晶的拉制方向延伸，所述掺杂段与所述连接段之间具有大于0度小于180度的夹角。

3.根据权利要求2所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述掺杂段与所述连接段之间的夹角为90度。

4.根据权利要求2或3所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述储料腔自所述储料部与所述连接杆的连接处延伸至所述出料口，所述储料部与所述掺杂段的设置方向具有负10度至10度的夹角。

5.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述储料部的设置方向垂直于所述单晶的拉制方向。

6.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述储料腔在垂直于轴心方向的截面积，自所述储料部与所述连接杆的连接处至所述出料口，先增大后缩小。

7.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，还包括紧固件，所述外转接部一端具有第一连接结构，所述连接杆一端具有第二连接结构，通过所述紧固件将所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述紧固件为螺栓、抱箍或销钉中的一种。

8.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述外转接部采用碳碳复合材料制成，所述连接杆和所述储料部均采用高纯石英制成。

9.根据权利要求1所述的补充掺杂装置，其特征在于，所述储料腔内放置的补充掺杂剂为高纯镓。

10.一种直拉单晶炉，其特征在于，包括外驱动部和权利要求1至9任一项所述的补充掺杂装置，所述外驱动部用于驱动所述补充掺杂装置转动。