[实用新型]一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置，包括电机和抛光头，所述电机的输出端设有便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理的研磨抛光装置，此管状金属靶材内孔研磨抛光装置，解决了现有管状金属靶材内孔研磨抛光装置使用时难以根据管状靶材内径大小随意调节抛光头使之与靶材内壁贴合且使用时粉尘飞溅难以回收的问题，设置了研磨抛光装置，便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理，操作简单快捷，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及管状靶材内孔抛光装置技术领域，具体为一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

现有的管状金属靶材内孔研磨抛光装置需要根据管状内径的大小更换不同尺寸的抛光头，且研磨抛光的过程中会有大量的灰尘飞溅，不利于人们的使用，更换抛光头费时费力，降低了生产效率。为此，我们提出一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理的管状金属靶材内孔研磨抛光装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置，包括电机和抛光头，所述电机的输出端设有便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理的研磨抛光装置，操作简单快捷，提高了工作效率。

优选的，所述研磨抛光装置包括便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且便于更换不同目数抛光头的调节装置，所述电机的输出端设有便于在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集且便于集中处理的收集装置，结构整体相互结合，无多余的操作，使用简单高效。

优选的，所述调节装置包括调节转盘，所述调节转盘的一侧开设有多个装置槽，多个所述装置槽内均转动连接有固定杆，所述固定杆的顶端螺纹连接有与抛光头转动连接的第一螺母，所述调节转盘上贯穿且螺纹连接有多个第二螺母，所述调节转盘上贯穿且螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管远离调节转盘的一端固定安装有与固定杆滑动连接的弧形圆盘，所述调节转盘的另一侧转动连接有与电机输出端固定连接的限位管，所述限位管的侧面开设有多个可与第二螺母螺纹连接的螺纹孔，所述螺纹管一端的侧面固定连接有限位块，所述限位管开设有与限位块滑动连接便于对限位块进行限位的限位槽，只需转动调节转盘即可快速调节使抛光头与不同内径的管状靶材相适配。

优选的，所述收集装置包括固定安装在限位管内部的吸尘装置，所述螺纹管的侧面开设有多个进灰孔，所述限位管上远离螺纹孔的一端开设有集灰腔，所述集灰腔的侧面开设有排灰口，所述排灰口铰接有开关门，所述开关门上安装有便于其固定的插扣，该装置可以有效的从源头处对飞溅的灰尘进行清理，降低了灰尘飞溅的可能性，方便了人们的使用。

优选的，所述调节转盘的侧面设有防滑纹，增加摩擦，便于操作。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型解决了现有管状金属靶材内孔研磨抛光装置使用时难以根据靶材内径大小随意调节抛光头使之与靶材内壁贴合且使用时粉尘飞溅难以回收的问题，设置了研磨抛光装置，便于根据管状靶材内径大小随意调节抛光头与内壁贴合且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理，操作简单快捷，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型研磨抛光装置结构示意图。