[实用新型]一种用于石英炉的气体冷却过滤装置

权利要求书

1.一种用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：包括气体冷却装置、气体过滤装置，所述气体冷却装置的进气端与所述石英炉的出气口连接，所述气体冷却装置的出气端与所述过滤装置的进气端连接，所述过滤装置的出气端与真空泵连接；所述气体过滤装置包括气体粉尘分离部和粉尘收集部，所述粉尘收集部与所述气体粉尘分离部通过可拆卸方式连接，所述气体粉尘分离部连接有气体过滤装置支撑架，以使所述粉尘收集部脱离地面。

2.根据权利要求1所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述气体过滤装置包括至少一个过滤器，所述过滤器包括位于上端的气体粉尘分离部和位于下端的粉尘收集部，所述气体粉尘分离部容纳有起截留粉尘作用的填料，所述粉尘收集部设有粉尘容纳部，用于容纳从上端的气体粉尘分离部截留下来的粉尘。

3.根据权利要求2所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述气体过滤装置包括2个及以上的过滤器，所述过滤器之间串联连接。

4.根据权利要求3所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述过滤器的进气端和出气端均设在气体粉尘分离部的上部，所述同一过滤器的气体粉尘分离部的进气端和出气端之间设有隔板，用于增加气体在气体粉尘分离部的停留时间。

5.根据权利要求4所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述过滤器包括若干个用于容纳填料的镂空的篮筐，所述篮筐可以上下叠放，所述篮筐设有防止所述填料散落的镂空的篮筐盖。

6.根据权利要求2所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述填料包括鲍尔环或/和拉西环。

7.根据权利要求1所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述气体冷却装置包括至少一个缠绕管式冷却器。

8.根据权利要求7所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述缠绕管式冷却器外壁缠绕有外部冷却管，内部置有内部冷却管，所述内部冷却管偏置于上侧，所述缠绕管式冷却器内部下侧置有用于收集冷凝水的积液盘。

9.根据权利要求7所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述缠绕管式冷却器的数量为2个及以上，所述缠绕管式冷却器之间串联。

10.根据权利要求1~9任一权利要求所述的用于石英炉的气体冷却过滤装置，其特征在于：所述气体冷却装置和所述气体过滤装置之间连接有连接管，或缓冲装置，或所述气体冷却装置和所述气体过滤装置之间依次连接有连接管和缓冲装置。