[实用新型]一种光阻涂布装置

权利要求书

1.一种光阻涂布装置，包括涂布装置（10），所述的涂布装置（10）的上端两侧固定连接有搭架（13），且所述的搭架（13）的两端安装有固定板（12）；

其特征在于：

所述的涂布装置（10）上端有安装用于进行涂布的涂布机构（20），所述的涂布机构（20）通过固定架（21）调节固定在涂布装置（10）的上端。

2.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于：所述的涂布机构（20）包括固定架（21）与涂布筒（24），所述的涂布筒（24）的内部设置有转轴，通过转轴配合所述的涂布筒（24）的两端连接在两侧的固定架（21）上，所述的转轴的两端设置有活动栓件（23），且通过转轴两端连接的活动栓件（23）固定在两侧的固定架（21）上。

3.根据权利要求2所述的一种光阻涂布装置，其特征在于：所述的固定架（21）包括安装架杆（211）与承托架（212），所述的承托架（212）套接在安装架杆（211）的两端，且所述的承托架（212）抵接在两侧设置的搭架（13）的内壁上，所述的搭架（13）的内部设置有滑槽（131），所述的安装架杆（211）两侧穿过所述的滑槽（131）与紧固件（22）连接，所述的紧固件（22）螺旋套接在安装架杆（211）的两端，且通过紧固件（22）将安装架杆（211）的两端紧固在两侧搭架（13）的内部，所述的涂布筒（24）内部的转轴穿过安装架杆（211）的内部与活动栓件（23）活动连接，且所述的转轴通过活动栓件（23）固定在两侧的安装架杆（211）上。

4.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于：所述的涂布装置（10）的两侧设置有安装侧台（11），所述的搭架（13）固定在安装侧台（11）的内壁上，且所述的固定板（12）两端闭合连接在两侧搭架（13）的一端，所述的安装侧台（11）的两端设置有安装板（14），所述的涂布装置（10）通过安装板（14）与螺栓配合固定在光阻机的内部。

5.根据权利要求2所述的一种光阻涂布装置，其特征在于：所述的涂布筒（24）转动连接在两侧安装架杆（211）之间，且涂布筒（24）的两侧端面贴合在所述的（221）的外壁上，且所述的安装架杆（211）底部套接的承托架（212）的底部表面贴合在涂布装置（10）的上端面上。

6.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于：所述的固定板（12）的底部焊接在所述的涂布装置（10）的上端面上，且所述的固定板（12）的内壁焊接在所述的搭架（13）的两端。