[实用新型]一种制备Topcon电池钝化膜层的装置

权利要求书

1.一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：包括载入腔(1)、预热腔(2)、真空传输腔(3)、镀膜模组(5)和载出腔(6)，所述载入腔(1)与预热腔(2)相连接，所述预热腔(2)设置于真空传输腔(3)的一侧，沿着所述真空传输腔(3)的周围设有多个镀膜模组(5)，多个所述镀膜模组(5)采用团簇式排列，所述载出腔(6)与真空传输腔(3)相连接，所述真空传输腔(3)内设有机械手(4)；

所述镀膜模组(5)包含外真空腔体(51)、镀膜腔(52)，多个所述镀膜腔(52)叠放于外真空腔体(51)内，所述镀膜腔(52)的下方设有支撑腿(54)，所述镀膜腔(52)的侧面设有与真空传输腔(3)相连接的阀门(53)，所述镀膜腔(52)上开设有抽气孔(55)。

2.根据权利要求1所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述镀膜腔(52)内的底部设有加热板(521)，所述镀膜腔(52)内的顶部设有绝缘板(522)。

3.根据权利要求2所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述镀膜腔(52)内设有喷淋板(523)，其设置于绝缘板(522)的下方，所述喷淋板(523)连接有进气管路(524)和RF电源馈入连接线(525)，所述RF电源馈入连接线(525)连接有RF电源。

4.根据权利要求1所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述镀膜腔(52)内的侧面设有补偿进气喷淋板(526)。

5.根据权利要求1所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述载入腔(1)、预热腔(2)和载出腔(6)均采用多层堆叠式结构设计，其层数为1-10层，所述机械手(4)为多层式真空机械手，其层数为1-10层。

6.根据权利要求1所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述镀膜腔(52)的镀膜方式为板式ALD与PECVD或板式PEALD与PECVD结合的镀膜方式中的任一种。

7.根据权利要求1所述的一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，其特征在于：所述外真空腔体(51)为不锈钢材质制成的方形腔体，所述镀膜腔(52)采用铝材质制成，其腔壁内设有加热丝，所述镀膜腔(52)上远离阀门(53)的侧面设有开关门。