[实用新型]潘宁离子源有效

专利信息
申请号: 202022402787.8 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN212907638U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 郭方准;石晓倩 申请(专利权)人: 大连交通大学
主分类号: H01J27/04 分类号: H01J27/04;H01J1/30
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 徐华燊;李洪福
地址: 116028 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 离子源
【权利要求书】:

1.一种潘宁离子源,其特征在于:包括磁石机构、离子产生与引出机构、离子加速机构,

所述磁石机构罩在外罩外部,其用于给电子施加洛伦兹力;

所述离子产生与引出机构包括所述外罩、阴极屏蔽罩、阴极压片和阳极筒,所述外罩连接有电极法兰,所述阳极筒与进气法兰相连,阴极屏蔽罩两端设有阴极压片,二者之间通过绝缘陶瓷进行绝缘,其中至少一个阴极压片设有孔,作为离子的输出口;

离子加速机构包括加速筒、固定环和压板,加速筒、固定环与压板通过螺纹连接,压板还与接口法兰连接。

2.根据权利要求1所述的潘宁离子源,其特征在于,所述磁石机构包括磁石和磁石外罩,磁石与磁石外罩通过磁力吸附在一起。

3.根据权利要求1所述的潘宁离子源,其特征在于,加速筒与带孔的阴极压片之间设有有磁不锈钢。

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