[实用新型]铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚有效

专利信息
申请号: 202022410842.8 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN213804070U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 高文秀;赵百通 申请(专利权)人: 宜兴市昱元能源装备技术开发有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00
代理公司: 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492 代理人: 宋春荣
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 铸锭 单晶硅 多晶 硅中可 重复 利用 石墨 坩埚
【权利要求书】:

1.一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:

包括:

底板(1),所述底板(1)包括一上侧面;

两个第一竖板(4),两个所述第一竖板(4)设于所述上侧面的两个相对侧边上;

两个第二竖板(6),两个所述第二竖板(6)设于所述上侧面的另外两个相对侧边上;

若干个冷却构件,设于所述第一竖板(4)与所述底板(1)之间的直角外部、设于所述第二竖板(6)与所述底板(1)之间的直角外部、设于所述第一竖板(4)与所述第二竖板(6)之间的直角外部。

2.根据权利要求1所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述底板(1)的所述上侧面四周开设有下沉式四周槽(2)。

3.根据权利要求2所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述四周槽(2)包括两个第一直槽(201),两个所述第一直槽(201)设于所述上侧面的两个相对侧边上,两个所述第一竖板(4)设于两个所述第一直槽(201)内;所述四周槽(2)还包括两个第二直槽(202),两个所述第二直槽(202)设于所述上侧面的另外两个相对侧边上,且与两个所述第一直槽(201)相互连通设置,两个所述第二竖板(6)设于设于两个所述第二直槽(202)内。

4.根据权利要求3所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述第一直槽(201)与所述第二直槽(202)的连接处位于所述第二直槽(202)的两个端点之间且靠近其中一个端点,使得所述第一竖板(4)位于两个所述第二竖板(6)之间。

5.根据权利要求4所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述底板(1)的侧面开设有吊具孔(3)。

6.根据权利要求4所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述第二竖板(6)内侧面的两端均开设有竖直方向的竖槽(7),所述竖槽(7)的下端与所述第一直槽(201)相对接,所述第一竖板(4)伸进所述竖槽(7)内。

7.根据权利要求6所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述第一竖板(4)的两个端面开有第一固定孔(5),所述第二竖板(6)上开有第二固定孔(8),所述第一竖板(4)通过所述第一固定孔(5)、所述第二固定孔(8)与固定件(9)固定连接所述第二竖板(6)。

8.根据权利要求6所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述冷却构件包括4个竖向冷却板(10)和4个横向冷却板(11);所述竖向冷却板(10)的一竖侧面与所述第二竖板(6)竖向端面接触,该侧面同时通过第一垫块(14)与所述第一竖板(4)接触;所述横向冷却板(11)的一横侧面与所述底板(1)横向端面接触或者与所述第二竖板(6)横向端面接触,同时通过第二垫块(15)与所述第二竖板(6)接触。

9.根据权利要求8所述的一种铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚,其特征在于:所述竖向冷却板(10)和所述横向冷却板(11)上均开有冷源进口(12)和冷源出口(13)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宜兴市昱元能源装备技术开发有限公司,未经宜兴市昱元能源装备技术开发有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022410842.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top