[实用新型]一种新型单晶炉热屏升降装置有效
申请号: | 202022421798.0 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN213652721U | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 高德东;王珊;张西亚;高俊伟;宋生宏 | 申请(专利权)人: | 青海大学;阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 李树志;李雪慧 |
地址: | 810000 *** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉热屏 升降 装置 | ||
1.一种新型单晶炉热屏升降装置,包括热屏,其特征在于:该装置包括升降装置、动力装置和保护装置;
所述升降装置包括滚珠丝杠副、设置于滚珠丝杠副上的轴承、安装座和滑座;
所述安装座包括设置在单晶炉炉盖上的上安装座和设置在单晶炉上保温盖上的下安装座;
所述轴承包括上轴承和下轴承,所述滚珠丝杠副的丝杠通过上轴承和下轴承设置在上安装座和下安装座上;
所述滑座的一端连接在滚珠丝杠副的螺母上,另一端与热屏连接;
所述保护装置包括冷却管、石墨隔热毡和密封波纹管;所述滚珠丝杠副外侧设置有一层铜板,所述铜板外设置有冷却管,所述冷却管外围包括设置石墨隔热毡;所述密封波纹管设置在动力装置与上安装座之间的丝杠上;
所述动力装置与升降装置连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述动力装置包括电机、减速器和联轴器,所述电机连接减速器的输入端,减速器的输出端与联轴器相连,联轴器的另一端连接升降装置。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管为盘管结构。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管由中空铜管制成,冷却管中通有冷却水。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管和石墨隔热毡只包裹设置在滚珠丝杠副的三个面,滑块与热屏连接的这一面未设置。
6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述下轴承为角接触轴承,所述上轴承为圆柱滚子轴承、双列圆柱滚子轴承、滚针轴承中的任意一种。
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