[实用新型]一种航天器薄膜加工曝光机有效

专利信息
申请号: 202022427033.8 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN213517877U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 谭文雁 申请(专利权)人: 常州市飞天电子元件有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 代理人: 谈敏
地址: 213000 江苏省常州市天宁*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 航天器 薄膜 加工 曝光
【权利要求书】:

1.一种航天器薄膜加工曝光机,包括曝光机主体(1),其特征在于:所述曝光机主体(1)的前表面固定安装有U型固定板(9)和U型竖板(15),所述U型固定板(9)位于U型竖板(15)的正上方,且所述U型固定板(9)的内侧转动连接有控制面板(10),所述U型竖板(15)的一侧对称固定安装有固定块(11),两个所述固定块(11)的相对面共同转动连接有丝杆(12),所述丝杆(12)的下端贯穿固定块(11)固定连接有旋钮(14),所述U型竖板(15)的两侧均开设有第二导向滑轨(17),所述丝杆(12)的外侧螺接有贯穿第二导向滑轨(17)的连接块(13),所述连接块(13)的前表面固定安装有下U型铰接座(16),所述下U型铰接座(16)的内侧转动连接有连接杆(18),所述连接杆(18)的上端转动连接有与控制面板(10)连接的上U型铰接座(19)。

2.根据权利要求1所述的一种航天器薄膜加工曝光机,其特征在于:所述丝杆(12)与固定块(11)之间通过轴承连接,所述下U型铰接座(16)和上U型铰接座(19)均与连接杆(18)之间通过转轴转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种航天器薄膜加工曝光机,其特征在于:所述曝光机主体(1)包括有设置于底部的下箱体(2),所述下箱体(2)的前表面开设有凹型操作通孔(5),所述凹型操作通孔(5)的内侧对称开设有限位槽(21),且所述凹型操作通孔(5)的内部设置有挡板(4),所述挡板(4)的前表面对称开设有第一导向滑轨(6),且所述挡板(4)的两侧均开设有与第一导向滑轨(6)连通的连接槽(24),所述连接槽(24)的内侧固定安装有复位弹簧(23),所述复位弹簧(23)的一端固定连接有与限位槽(21)对应的限位块(20),所述限位块(20)的前表面固定安装有贯穿第一导向滑轨(6)的凸块(22)。

4.根据权利要求3所述的一种航天器薄膜加工曝光机,其特征在于:所述凸块(22)与限位块(20)之间连接形成“L”型结构,且所述凸块(22)与限位块(20)为一体成型结构。

5.根据权利要求1所述的一种航天器薄膜加工曝光机,其特征在于:所述曝光机主体(1)的下表面均匀螺接有四个螺纹柱(3),每个所述螺纹柱(3)的下端均固定连接有支撑块(7)。

6.根据权利要求5所述的一种航天器薄膜加工曝光机,其特征在于:所述曝光机主体(1)的下表面均匀固定安装有四个万向轮(8),每个所述万向轮(8)均位于螺纹柱(3)的外侧。

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