[实用新型]改善吹风洁净度的光刻机系统

权利要求书

1.改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱(1)，其特征在于：所述装置箱(1)的正面设置用控制机构(26)，所述装置箱(1)的内底壁设置有工作台(2)，所述工作台(2)的上方设置有光刻镜头(3)，所述装置箱(1)的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱(4)和喷淋箱(5)，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵(6)和过滤箱(7)，所述烘干箱(4)的两侧内壁固定安装有电加热丝(8)，所述喷淋箱(5)的上表面固定安装有支撑柱，所述支撑柱远离喷淋箱(5)的一端固定安装有储水箱(9)，所述储水箱(9)的侧面设置有注水口，所述储水箱(9)的下表面固定安装有水泵(10)，所述装置箱(1)的左侧内壁固定安装有固定板，所述固定板的上表面固定安装有风机(11)，所述装置箱(1)的内底壁固定安装有安装板(12)，所述安装板(12)的右侧面固定安装有电动推杆(13)，所述电动推杆(13)的推送端固定安装有衔接板(14)，所述衔接板(14)远离电动推杆(13)的一侧固定安装有T型喷气管(15)，所述过滤箱(7)的侧面固定安装有气管，所述气管远离过滤箱(7)的一端延伸至装置箱(1)的内部并固定连接有喷气软管(16)，所述喷气软管(16)远离气管的一端延伸至T型喷气管(15)的内部，所述喷气软管(16)呈螺旋状盘绕在电动推杆(13)的表面。

2.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述电加热丝(8)的数量为两个，两个所述电加热丝(8)对称设置在烘干箱(4)的两侧内壁，所述支撑柱的数量为四个，四个所述支撑柱呈矩形阵列设置在喷淋箱(5)上表面的四角处。

3.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述水泵(10)的进水端固定安装有进水管，所述进水管远离水泵(10)的一端延伸至储水箱(9)的内部并固定安装有过滤网，所述水泵(10)的出水端固定安装有出水管，所述出水管远离水泵(10)的一端延伸至喷淋箱(5)的内部并固定安装有喷淋头(17)。

4.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述风机(11)的进风端固定安装有进风管，所述进风管远离风机(11)的一端延伸至装置箱(1)的上表面并固定安装有过滤保护罩，所述风机(11)的出风端固定安装有出风管，所述出风管远离风机(11)的一端延伸至喷淋箱(5)的内部。

5.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述T型喷气管(15)的表面固定安装有喷气头(18)，所述喷气头(18)的数量为两个，两个所述喷气头(18)以T型喷气管(15)侧面的中线为对称轴对称设置在T型喷气管(15)的侧面。

6.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述喷淋箱(5)的侧面分别开设有两侧开口，两个所述开口的内壁分别固定安装有衔接管(19)和排水管，所述衔接管(19)远离喷淋箱(5)的一端延伸至烘干箱(4)的内部，所述排水管的表面固定安装有排水阀门。

7.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述气泵(6)的进气端延伸至烘干箱(4)的内部，所述气泵(6)的出气端延伸至过滤箱(7)的内部，所述过滤箱(7)的内底壁通过滑轨滑动连接有过滤网芯(20)，所述过滤网芯(20)的内壁设置有活性炭颗粒(21)。

8.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述过滤箱(7)的正面通过两个合页转动连接有箱门(22)，所述箱门(22)的正面固定安装有把手(23)，所述把手(23)的表面套设有防滑橡胶套，所述箱门(22)和过滤箱(7)的正面均固定安装有固定块，两个所述固定块的侧面均开设有螺纹孔，两个所述螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓。

9.根据权利要求1所述的改善吹风洁净度的光刻机系统，其特征在于：所述装置箱(1)的下表面固定安装有支撑座(24)，所述支撑座(24)的数量为四个，四个所述支撑座(24)呈矩形阵列设置在装置箱(1)下表面的四角处，所述装置箱(1)的右侧面开设有开口，所述开口的内壁固定安装有吸尘罩(25)。