[实用新型]一种IGBT模块的在线加热装置有效
申请号: | 202022435937.5 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN212991053U | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 韦圣权 | 申请(专利权)人: | 上海新宇箴诚电控科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;H01L29/739 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 应小波 |
地址: | 201802 上海市嘉定区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 igbt 模块 在线 加热 装置 | ||
本实用新型涉及一种IGBT模块的在线加热装置,包括隔热底座、氮气保护罩、气动推杆机构、恒温加热台、红外加热机构以及对接既有生产线移载机械手的入料口和出料口,恒温加热台和红外加热机构分别安装在隔热底座上,气动推杆机构与恒温加热台相连,实现IGBT模块在恒温加热台中的口字形回转,氮气保护罩的数量为两个,分别安装在恒温加热台和红外加热机构上,恒温加热台和红外加热机构分别设置在两个氮气保护罩的内部,入料口和出料口分别设置在氮气保护罩上。与现有技术相比,本实用新型具有节能高效、布局紧凑、安全可靠、检修方便等优点。
技术领域
本实用新型涉及IGBT模块的加热技术领域,尤其是涉及一种IGBT模块的在线加热装置。
背景技术
随着新能源汽车的兴起,IGBT模块作为汽车驱动的核心零部件,其测试要求愈发趋于严格,对其测试中的升温模拟不仅参数要求高,还要求加热设备具有较好的自动化集成。
传统的IGBT模块加热装置多以单体烘箱或隧道式链板加热炉。前者集成在自动化生产线中,需配备复杂的机械手或机器人,并以单件方式反复开门上下载加热,效率低,投资大;后者由于板链结构和空气传递的效率,往往占地大,能耗高,生产成本大,所以亟需一种IGBT模块的在线加热装置。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种节能高效、布局紧凑、安全可靠、检修方便的IGBT模块的在线加热装置。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现:
一种IGBT模块的在线加热装置,用于对既有的IGBT模块进行加热,所述的在线加热装置包括隔热底座、氮气保护罩、气动推杆机构、恒温加热台、红外加热机构以及对接既有生产线移载机械手的入料口和出料口;
所述的恒温加热台和红外加热机构分别安装在隔热底座上;
所述的气动推杆机构与恒温加热台相连,实现IGBT模块在恒温加热台中的口字形回转;
所述的氮气保护罩的数量为两个,分别安装在恒温加热台和红外加热机构上;所述的恒温加热台和红外加热机构分别设置在两个氮气保护罩的内部;
所述的入料口和出料口分别设置在氮气保护罩上。
优选地,所述的隔热底座包括安装底座、用于调整在线加热装置位置的调节组件和隔热座;所述的恒温加热台和红外加热机构分别通过隔热座安装在安装底座上;所述的调节组件安装在安装底座上。
优选地,所述的氮气保护罩包括保护罩本体和氮气接口;所述的氮气接口设置在保护罩本体上;所述的保护罩本体安装在恒温加热台上;所述的氮气接口外接既有氮气回路。
优选地,所述的恒温加热台包括加热台箱体以及分别安装在箱体内的若干个托盘、导轨、陶瓷加热板、热电阻、导热板、耐磨板、隔热板和温度控制器;
所述的隔热板安装在加热台箱体的底部;所述的陶瓷加热板的底面与隔热板相连;所述的陶瓷加热板为回字形陶瓷加热板;
所述的导热板的底面与陶瓷加热板相连;所述的导热板为回字形导热板,导热板中心区域设有口字形通孔;
所述的耐磨板安装在导热板上;所述的耐磨板与导热板的形状相同;
所述的导轨为回字形导轨,安装在耐磨板上;所述的若干个托盘分别安装在导轨上,托盘与导轨进行滑动连接;
所述的陶瓷加热板与热电阻相连;所述的陶瓷加热板和热电阻分别与相应的温度控制器相连,实现对温度的独立闭环PID控温。
更加优选地,所述的气动推杆机构包括第一推杆模块、第二推杆模块、第三推杆模块和第四推杆模块;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造