[实用新型]一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层

权利要求书

1.一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，包括派瑞林涂层(1)，其特征在于：所述派瑞林涂层(1)的顶部粘合有韧性耐腐蚀层(2)，所述韧性耐腐蚀层(2)的顶部铺设有防水层(3)，所述防水层(3)的顶部粘黏有缓冲层(4)，所述缓冲层(4)的顶部通过胶水粘黏有耐磨损层(5)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，其特征在于：所述韧性耐腐蚀层(2)的材质为EVA醋酸乙烯共聚物，所述韧性耐腐蚀层(2)的厚度为200微米。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，其特征在于：所述缓冲层(4)的材质为橡胶，且缓冲层(4)由多个半球橡胶组成，所述缓冲层(4)的厚度为250-300微米。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，其特征在于：所述防水层(3)的材质为丙烯酸制成，所述防水层(3)的厚度为100-150微米。

5.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，其特征在于：所述耐磨损层(5)的材质为pp聚丙烯，所述耐磨损层(5)的厚度为200-250微米。

6.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗设备内部结构件和密封件的防护膜层，其特征在于：所述缓冲层(4)的底部填充有与防水层(3)顶部粘黏固定的镍铬铝钇涂层(6)。