[实用新型]一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪

说明书

本实用新型公开了一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，包括固定底座，所述固定底座的上表面两侧分别固定连接有支撑架，两个所述支撑架的顶部军固定连接有移动导轨，所述固定底座的内部开设有安装槽，所述安装槽的内侧活动套接有第一滚轴丝杆；通过设计的固定卡套、固定齿轮、活动卡块和固定轴，便于该装置在使用过程中，通过移动开关控制两侧活动卡块与固定齿轮啮合连接，调节第一滚轴丝杆的转向与固定，然后通过第一滚轴丝杆丹东活动块将玻璃基片固定夹持，避免玻璃基片在检测过程中出现移动影响检测效果，从而解决了现有装置在使用时无法固定影响检测精准度的问题。

技术领域

本实用新型属于平面度检测技术领域，具体涉及一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪。

背景技术

平面度检测仪是研发的新型高科技测量仪器，主要是用花岗石台面、基座、位于花岗石上面的激光侧头，机器是由电脑及电器控制柜所组成的，其采用均布激光三角测头，可以在二十点五秒以内完成高速的图像采集卡加上优化的图像处理算法，从而完成非接触进行测量。

现有的平面度检测仪在使用过程中，由于大多是将玻璃基片直接放置在检测仪上进行检测，从而导致玻璃基片在检测过程中容易发生位置偏移，继而影响平面度检测精准度的问题，为此我们提出一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，以解决上述背景技术中提出现有的平面度检测仪在使用过程中，由于大多是将玻璃基片直接放置在检测仪上进行检测，从而导致玻璃基片在检测过程中容易发生位置偏移，继而影响平面度检测精准度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，包括固定底座，所述固定底座的上表面两侧分别固定连接有支撑架，两个所述支撑架的顶部军固定连接有移动导轨，所述固定底座的内部开设有安装槽，所述安装槽的内侧活动套接有第一滚轴丝杆，所述第一滚轴丝杆的一侧固定连接有旋钮，所述第一滚轴丝杆的外侧活动套接有活动块，所述第一滚轴丝杆的一端外侧活动套接有固定卡套，所述固定卡套的内部活动套接有固定齿轮，所述固定齿轮的内侧固定连接于所述第一滚轴丝杆的一端外侧，所述固定齿轮的前表面两侧分别活动连接有活动卡块，所述活动卡块的上表面内部活动套接有固定轴，所述固定轴的上表面固定连接于所述固定卡套的内部顶端，所述活动卡块的上表面开设有固定卡槽，所述固定卡套的前表面活动连接有移动开关，所述移动开关的后表面固定连接有连接块，所述连接块的后表面固定连接有限位挡块，所述限位挡块的后表面固定连接有弹性卡块。

优选的，所述固定底座的一侧固定连接有支撑底座，所述支撑底座的顶部固定连接有马达，所述马达的一侧固定连接有第二滚轴丝杆，所述第二滚轴丝杆的外侧活动套接有移动块，所述移动块的底部固定连接有激光探测头。

优选的，所述固定底座的另一侧开设有圆形开口，所述第一滚轴丝杆的一端贯穿于所述圆形开口内与所述旋钮固定连接。

优选的，所述活动卡块的后表面开设有与所述固定齿轮外侧相适配的固定凹槽，所述固定齿轮的前表面啮合连接于所述固定凹槽的后表面。

优选的，所述固定卡套的一端内部固定连接有限位卡块，所述第一滚轴丝杆活动套接于所述限位卡块的内侧。

优选的，所述固定卡套的前表面开设有固定开口，所述连接块活动套接于所述固定开口的内侧。

优选的，所述移动导轨的上表面开设有限位滑槽，所述移动块的内部底端固定连接有限位滑块，所述限位滑块活动套接于所述限位滑槽的内侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：