[实用新型]一种扫描电镜样品台

权利要求书

1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括限位环(1)、制备框(2)和平台座；

所述限位环(1)为圆环形结构，其一端边缘设计有收口(6)，另一端与制备框(2)的一端同圆心可拆卸连接；

所述制备框(2)为圆环形结构，其远离限位环(1)的一端与平台座同圆心可拆卸连接；

所述平台座为平台座Ⅰ(3)或平台座Ⅱ(4)，与制备框(2)一端连接后用于容置样品；所述平台座Ⅰ(3)为圆盘形结构；所述平台座Ⅱ(4)由圆盘形底盘和位于其边缘的凸沿组成。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述限位环(1)与制备框(2)内外径匹配；所述制备框(2)与平台座内外径匹配。

3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述限位环(1)、制备框(2)和平台座以螺纹连接；所述限位环(1)具有内螺纹，与制备框(2)的外螺纹相匹配；所述平台座Ⅰ(3)具有外螺纹，与制备框(2)的内螺纹相匹配；所述平台座Ⅱ(4)具有内螺纹，与制备框(2)的外螺纹相匹配。

4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述制备框(2)上下两端的外螺纹宽度为2mm，上下两端的内螺纹宽度为3～6mm。

5.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述限位环(1)的外径为16～36mm，壁厚为1mm，高度为3mm；所述制备框(2)的外径为14～34mm，高度为10～20mm，壁厚为2mm；所述平台座Ⅰ(3)高度为3～4mm，直径为10～30mm；所述平台座Ⅱ(4)的圆盘形底盘高度为3～4mm，外径为16～36mm，其凸沿高度为2mm，壁厚为1mm。

6.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品台还包括螺柱(5)；所述螺柱(5)长度为5～8mm，直径为3.2mm，其一端设有外螺纹，外螺纹宽2～3mm；所述平台座底部圆心处设有与螺柱(5)螺纹适配的内螺纹孔，内螺纹口深2～3mm，内径为3.2mm。

7.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述收口(6)为圆形、4爪形或8爪形中的一种；所述收口(6)厚度为0.5～1mm，沿圆心方向上的长度为1～4mm；爪的宽度为1～2mm。

8.根据权利要求6所述的样品台，其特征在于，所述限位环(1)、制备框(2)、平台座和螺柱(5)的材质为铝或铜。