[实用新型]转接组件和气相沉积设备

说明书

本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备，其中，转接组件包括承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型提供的转接组件，实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。

技术领域

本实用新型涉及工程设备技术领域，具体而言，涉及一种转接组件和一种气相沉积设备。

背景技术

相关技术中，气相沉积设备中的多个元件均需要冷却液体对其冷却，或者需要压缩空气为其提供动力，因此在安装设备时，需要提供多条气体或液体传输管路，同时配备多个气体或液体传输所需的元器件，导致设备装配过程中线路的布置与安装复杂，安装成本也比较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一目的在于提供一种转接组件。

本实用新型的第二目的在于提供一种气相沉积设备。

为有鉴于此，本实用新型的第一方面提供了转接组件，包括：承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。

本实用新型提供的转接组件，包括承载架和连接部，其中，连接部设置于承载架上，以使承载架对连接部起到固定作用，连接部上还设置有多个连接件；进一步地，转接组件还包括液体分配组件和气体分配组件，液体分配组件和气体分配组件均通过连接件与连接部相连接，以实现液体分配组件与气体分配组件集中于连接部上，进而实现了通过转接组件对气体以及液体分配组件的集中转接。

本实用新型提供的转接组件，将液体分配组件和气体分配组件通过连接件与连接部相连接，同时，将连接部设置于承载架上，从而实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。同时，转接组件无需固定在特定位置，可以自由移动，从而使得液体和气体管路的位置安排更加灵活，进一步地提高了设备安装的灵活性，方便设备安装。

另外，本实用新型提供的上述实施例中的转接组件还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，进一步地，连接部包括：连接板，连接板与承载架相连接；多个连接件分别设置于连接板的不同位置。

在该技术方案中，连接部可以为与承载架相连接的连接板，同时将多个连接件设置于连接板上的不同位置，从而使得液体分配组件和气体分配组件可以同时连接于连接板上，并且不会对彼此造成影响，进一步保证了设备的液体分配和气体分配的稳定。具体地，多个连接件可以设置于连接板同一侧的不同位置，以使得液体分配组件和气体分配组件在连接板上依次有序排列，以方便工作人员进行操作，多个连接件也可以根据设备的结构分别设置于连接板的两侧，从而便于液体分配组件和气体分配组件的连接，以提高安装的灵活性。

在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件包括：第一管体，第一管体上设置有多个出液口；第一阀门，第一阀门设置于出液口上。