[实用新型]一种小直径晶片清洗盒有效

专利信息
申请号: 202022456405.X 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN213026071U 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 朱中晓;张凯剑 申请(专利权)人: 北京石晶光电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/67
代理公司: 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 代理人: 刘亚莉
地址: 100086 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 直径 晶片 清洗
【说明书】:

本实用新型公开一种小直径晶片清洗盒,包括盒体、设置于盒体上的多个清洗槽及定位孔,所述清洗槽的两侧沿其长度方向对称设有内壁为弧面的多个夹持槽,位于清洗槽同一侧上的相邻夹持槽呈间隔设置;位于清洗槽底部的盒体上沿清洗槽的长度方向设有多个透水孔。清洗时晶片放置在夹持槽内,相邻晶片之间存在间距,避免叠片现象的出现,保证单个晶片的清洗需要,洗净质量高,同时清洗盒具有定位孔,允许将至少两个清洗盒叠放在一起实现组合式清洗,不但清洗数量多,而且清洗过程中放置于相对夹持槽内的晶片受另一清洗盒的覆盖,避免因晶片体积小漂浮起来造成的跑料、丢料现象。

技术领域

本实用新型属于石英晶片加工技术领域,具体涉及一种小直径晶片清洗盒。

背景技术

随着国家经济的迅速发展,石英晶片广泛应用于电子元器件技术领域,在生产流程中石英晶片需要经过多道处理工序(例如研磨、抛光),每道工序都会使石英晶片表面受到污染,因此需要对加工完成的石英晶片进行清洗。传统清洗方法在清洗小直径晶片时,需要先将晶片堆叠在塑料筐内,再将塑料筐置于装有清洗液(例如无水乙醇)的容器中,然后再将容器置于超声清洗机中进行清洗,该种方法的缺点在于:(1)放入容器之前晶片处于堆叠的状态,容易产生叠片现象,从而导致无法洗净;(2)清洗过程中晶片因体积小处于漂浮状态,容易跑片,从而导致晶片流失。

发明内容

针对传统清洗方法在清洗小直径晶片时存在的缺点,本实用新型的目的在于提供一种小直径晶片清洗盒。

本实用新型的目的是采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种小直径晶片清洗盒,包括盒体、设置于盒体上的多个清洗槽及定位孔,所述清洗槽的两侧沿其长度方向对称设有内壁为弧面的多个夹持槽,位于清洗槽同一侧上的相邻夹持槽呈间隔设置;位于清洗槽底部的盒体上沿清洗槽的长度方向设有多个透水孔。

进一步的,多个清洗槽沿盒体中心向盒体边缘的方向呈阵列分布。

进一步的,一个透水孔对应相对分布的两个夹持槽。

进一步的,夹持槽的底面高于清洗槽的底面。

进一步的,定位孔设置于盒体的中心及边缘。

进一步的,盒体的材质为有机玻璃。

本实用新型一种小直径晶片清洗盒具有如下优点:

(1)位于清洗槽同一侧上的相邻夹持槽呈间隔设置,不但方便用镊子拿取晶片,而且相邻晶片之间存在间距,避免叠片现象的出现,保证单个晶片的清洗需要,洗净质量高;

(2)定位孔的设计允许将至少两个清洗盒叠放在一起实现组合式清洗,不但清洗数量多,而且清洗过程中放置于相对夹持槽内的晶片受另一清洗盒的覆盖,避免因晶片体积小漂浮起来造成的跑料、丢料现象;

(3)盒体可采用有机玻璃制作,不但方便采购和制作,而且可多次循环利用,经济实惠。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型一种小直径晶片清洗盒一实施例的示意图。

图2是本实施例中清洗槽、夹持槽、透水孔的位置关系示意图。

【附图标记】

1-盒体 2-清洗槽 3-定位孔 4-夹持槽 5-透水孔

具体实施方式

以下结合附图及较佳实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。

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