[实用新型]一种用于MPCVD设备的真空生成装置有效

专利信息
申请号: 202022457428.2 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN213623261U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 王凯;秦静 申请(专利权)人: 美若科技有限公司
主分类号: B67C9/00 分类号: B67C9/00
代理公司: 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 代理人: 刘真
地址: 276800 山东省日*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 mpcvd 设备 真空 生成 装置
【权利要求书】:

1.一种用于MPCVD设备的真空生成装置,包括真空发生器(1)和连接管(2),其特征在于:所述真空发生器(1)一侧设置有真空吸入管(3),所述连接管(2)设置在所述真空吸入管(3)一端,所述连接管(2)一端熔接有螺纹环(4),所述真空吸入管(3)的内壁一端设置有连接螺槽,所述螺纹环(4)与所述连接螺槽相啮合,所述真空发生器(1)和所述连接管(2)上均熔接有气压检测筒(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述螺纹环(4)一端粘合有密封环(6),所述连接螺槽的内壁上设置有环形槽。

3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述密封环(6)卡设在所述环形内侧,所述环形槽的内壁粘合有密封囊(7)。

4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述密封囊(7)上设置有打气头(8),所述环形槽的内壁上设置有打气孔(9),所述打气头(8)设置在所述打气孔(9)内。

5.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述气压检测筒(5)内设置有气压槽(10)和触发腔(11),所述气压检测筒(5)上设置有指示灯(12)和蓄电池(13)。

6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述气压槽(10)内卡设有密封块(14),所述触发腔(11)内设置有移动片(15),所述密封块(14)与所述移动片(15)之间熔接有联动杆(16),所述气压槽(10)与所述触发腔(11)之间设置有通孔,所述联动杆(16)卡设在所述通孔内,所述移动片(15)上安装有电极片一(17),所述触发腔(11)的内部上安装有电极片二(18),所述指示灯(12)通过电线分别与所述电极片一(17)和所述蓄电池(13)连接,所述蓄电池(13)通过电线与所述电极片二(18)连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于MPCVD设备的真空生成装置,其特征在于:所述密封块(14)与所述气压槽(10)的内壁之间熔接有弹簧(19)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美若科技有限公司,未经美若科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022457428.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top