[实用新型]一种分布式抽真空装置

权利要求书

1.一种分布式抽真空装置，其特征在于：包括抽真空设备(1)、管道和软管(3)；管道包括主管(21)和分管(22)，主管(21)与抽真空设备(1)的抽气孔连接，分管(22)与主管(21)连接；所述每个分管(22)的出口处与软管(3)连接，分管(22)与软管(3)的连接处设有阀门(4)；所述主管(21)与抽真空设备(1)之间设有第二阀门(5)，所述分管(22)与主管(21)之间设有第三阀门(6)；在所述软管(3)与分管(22)之间设置过滤装置(7)。

2.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：所述过滤装置(7)为内部由不锈钢烧结网折叠支撑的烧结网过滤器。

3.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：所述过滤装置(7)的过滤精度为5-10um。

4.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：所述过滤装置(7)设置在靠近阀门(4)的分管(22)内。

5.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：在所述分管(22)的端头设有法兰端(8)，过滤装置(7)与法兰端(8)连接，过滤装置(7)的另外一端设有第二法兰端(9)，阀门(4)与第二法兰端(9)连接，软管(3)与阀门(4)的另一端连接。

6.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：所述每个软管(3)的出口设有连接端(10)和悬挂装置。

7.根据权利要求1所述的分布式抽真空装置，其特征在于：所述分布式抽真空装置还包括设置控制器，所述阀门(4)、过滤装置(7)、第二阀门(5)和第三阀门(6)与控制器电连接。