[实用新型]石墨舟内硅片位置矫正装置有效
申请号: | 202022462964.1 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN213624372U | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 宋慧锋;马树明;宋如意;谢正杰 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 硅片 位置 矫正 装置 | ||
本实用新型涉及太阳能电池生产领域。石墨舟内硅片位置矫正装置,包括安装在石墨舟外壳(1)上的液压缸(2)、安装在液压缸(2)的伸缩臂上的横梁(9)、通过螺柱(5)安装在横梁(9)上的拍板(4),横梁(9)上有通孔(8),螺柱(5)一端通过焊接、一体化连接、螺栓连接的任意一种连接方式固定在拍板(4)上,螺柱(5)另一端深入通孔(8)中并通过第一螺帽(6)和第二螺帽(7)进行固定,液压缸(2)通过电磁阀连接电源,PLC连接电磁阀。本实用新型通过PLC控制电池阀的开关,从而控制拍舟频率,通过控制螺杆上的第一螺帽和第二螺帽的位置从而控制拍板到石墨舟外壳距离,从而控制拍舟力度。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产领域。
背景技术
PECVD意思为等离子体增强化学气相沉积,在硅片表面进行镀膜,镀膜时需要机器人将硅片装入到石墨舟内(舟叶间距为11mm),然后石墨舟进入到主机台炉管内进行抽真空反应,进入到石墨舟内的硅片不能发生倾倒,如有倾倒会导致左右两张硅片接触短路导致机台报警,所以在石墨舟进炉管内时就需要有人工去检查石墨舟内的硅片情况,并且得保证机器人插完片子之后有一系列的拍舟动作(一舟拍8下),避免进入到机台内出现异常(机器人将硅片插入石墨舟内舟,舟页上三个卡点只有两个卡点能卡住硅片,所以得靠拍舟来使硅片角度发生变化,三个卡点正好吻合卡住硅片);一个班持续人工拍舟,每台机一个班装舟80舟左右,人工拍舟累计约640下,劳动强度大,加之如有漏拍情况,会导致舟内出现批量的卡点烧焦,损失就会随之加重。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:如何提供一种拍舟装置。
本实用新型所采用的技术方案是:石墨舟内硅片位置矫正装置,包括安装在石墨舟外壳(1)上的液压缸(2)、安装在液压缸(2)的伸缩臂上的横梁(9)、通过螺柱(5)安装在横梁(9)上的拍板(4),横梁(9)上有通孔(8),螺柱(5)一端通过焊接、一体化连接、螺栓连接的任意一种连接方式固定在拍板(4)上,螺柱(5)另一端深入通孔(8)中并通过第一螺帽(6)和第二螺帽(7)进行固定,液压缸(2)通过电磁阀连接电源,PLC连接电磁阀。
横梁(9)的中部通过焊接、一体化连接、螺栓连接的任意一种连接方式固定在液压缸(2)的伸缩臂上,横梁(9)的两端各有两个通孔(8),横梁(9)的每端通过两个螺柱(5)连接一块拍板(4)。
拍板(4)与石墨舟外壳(1)正对的面上粘接一层橡胶板(3)。
本实用新型的有益效果是:本实用新型通过PLC控制电池阀的开关,从而控制拍舟频率,通过控制螺杆上的第一螺帽和第二螺帽的位置从而控制拍板到石墨舟外壳距离,从而控制拍舟力度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的左视图示意图;
其中,1、石墨舟外壳,2、液压缸,3、橡胶板,4、拍板,5、螺柱,6、第一螺帽,7、第二螺帽,8、通孔,9、横梁。
具体实施方式
如图1和图2所示,石墨舟内硅片位置矫正装置,包括安装在石墨舟外壳1上的液压缸2、安装在液压缸2的伸缩臂端头上的横梁9、通过螺柱5安装在横梁9上的拍板4,横梁9上有通孔8,螺柱5一端通过焊接、一体化连接、螺栓连接的任意一种连接方式固定在拍板4上,螺柱5另一端深入通孔8中并通过第一螺帽6和第二螺帽7进行固定,横梁9的中部通过焊接、一体化连接、螺栓连接的任意一种连接方式固定在液压缸2的伸缩臂上,横梁9的两端各有两个通孔8,横梁9的每端通过两个螺柱5连接一块拍板4,拍板4与石墨舟外壳1正对的面上粘接一层橡胶板3,液压缸2通过电磁阀连接电源,PLC连接电磁阀。通过PLC控制电池阀的开关,从而控制拍舟频率,通过控制螺杆上的第一螺帽和第二螺帽的位置从而控制拍板到石墨舟外壳距离,从而控制拍舟力度。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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