[实用新型]一种用于硅片钝化的设备

权利要求书

1.一种用于硅片钝化的设备，其特征在于，所述设备包括双滚轮机构和密封机构；其中，所述双滚轮机构利用设定间距的双滚轮对装有待测硅片样品且注入钝化液的塑封袋的两个面同时进行滚碾，所述密封机构依照所述待测硅片样品的形状对经过滚碾的塑封袋中的待测硅片样品进行密封。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述双滚轮机构包括：第一传送带、第二传送带以及沿竖直方向按照设定间距固定且具有相反滚动方向的一对滚碾滚轮；其中，所述第一传送带用于将所述装有所述待测硅片样品且注入钝化液的塑封袋传送至所述滚碾滚轮对进行滚碾；所述第二传送带用于将完成滚碾的塑封袋传送至所述密封机构；所述滚碾滚轮对中位于下方的下滚轮的滚动方向与所述第一传送带的传送方向相同，所述滚碾滚轮对中位于上方的上滚轮的滚动方向与所述下滚轮的滚动方向相反，以使得所述滚碾滚轮对的滚碾方向与所述第一传送带的传送方向以及所述第二传送带的传送方向一致；并且所述滚碾滚轮对按照由袋底至袋口的顺序对所述装有所述待测硅片样品且注入钝化液的塑封袋进行滚碾。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述双滚轮机构还包括对向设置的固定基座，所述滚碾滚轮对沿竖直方向设置于所述固定基座上且每个滚碾滚轮能够被水平固定。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述固定基座外侧设置有竖直方向的导轨，所述滚碾滚轮对中的上滚碾滚轮通过调节螺丝固定于所述固定基座上，通过调节所述调节螺丝在所述导轨中的位置高度，以使得所述滚碾滚轮对之间的间距T在设定的范围内变化。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述导轨上还设置用于标识高度的刻度以明确指示所述滚碾滚轮对之间的间距。

6.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述滚碾滚轮对之间的间距为所述待测硅片样品厚度、所述塑封袋厚度以及所述钝化液薄膜厚度之和。

7.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述设备还包括在所述第一传送带处设置的钝化液回收台，所述钝化液回收台用于将滚碾过程中由塑封袋袋口流出的钝化液进行回收，用于对后续待测硅片样品进行钝化。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述密封机构包括具有热线的密封器，能够按照塑封袋中所装有的待测硅片样品的形状进行密封以形成密封线，从而维持所述待测硅片样品表面所涂覆的均匀厚度的钝化液薄膜。

9.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述钝化液包括将碘和甲醇按设定比率混合后所制造的碘甲醇溶液、使用氧化力强的卤素族元素和乙醇或甲醇按照设定比率混合的溶液。

10.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述塑封袋包括透明的聚乙烯袋或者聚丙烯袋。