[实用新型]一种节能式氧化炉温度调节系统

说明书

本实用新型公开了一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体，所述炉体顶部后端固定连接有滑动变阻器，所述滑动变阻器的顶部左侧固定连接有正极旋钮，所述正极旋钮与第一接电旋钮之间固定连接有第一导线，所述滑动变阻器的顶部滑动连接有负极旋钮，所述负极旋钮与第二接电旋钮之间固定连接有第二导线，所述炉体的顶部右侧固定连接有温度传感器，所述炉体的顶部偏右侧固定连接有控制器。本实用新型中，通过温度传感器传输信号给控制器，控制器控制电机转动，电机带动滑动变阻器上的负极旋钮左右移动，通过增大或者减小电阻实现对加热管的电流控制从而实现自动调节温度，简单省事且有利于减少资源损耗，值得大力推广。

技术领域

本实用新型涉及氧化炉领域，尤其涉及一种节能式氧化炉温度调节系统。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化。

氧化炉在进行加热的时候由于待加热物体的属性不同，在加热的时候需要对温度进行精准的控制，而市面上大多的氧化炉都需要手动进行调节，十分的麻烦，并且不够节能环保。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种节能式氧化炉温度调节系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体，所述炉体底部固定连接有底座，所述炉体内部设置有加热管，所述加热管的顶部左侧贯穿炉体连接有第一接电旋钮，所述加热管的顶部右侧贯穿炉体连接有第二接电旋钮，所述炉体顶部后端固定连接有滑动变阻器，所述滑动变阻器的顶部左侧固定连接有正极旋钮，所述正极旋钮与第一接电旋钮之间固定连接有第一导线，所述滑动变阻器的顶部滑动连接有负极旋钮，所述负极旋钮与第二接电旋钮之间固定连接有第二导线，所述炉体顶部固定连接有支撑板，所述支撑板顶部设置有限位槽，所述限位槽内滑动连接有限位块，所述限位块顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有齿轮，所述炉体顶部前端固定连接有两个连接块，所述连接块的顶部固定连接在齿条的底部左右两侧，所述齿轮与齿条啮合连接，所述电机的后端通过连接杆与负极旋钮固定连接，所述炉体的顶部右侧固定连接有温度传感器，所述炉体的顶部偏右侧固定连接有控制器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述底座底部四个角均固定连接有支腿。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体的材质为高温陶瓷。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述温度传感器向下贯穿炉体的顶部。

作为上述技术方案的进一步描述：

底座的材质为不锈钢。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体的左侧设置有圆孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体为内部中空的壳体。

本实用新型具有如下有益效果：