[实用新型]一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置

权利要求书

1.一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：包括底座，所述底座的上端面设置有托盘槽，所述托盘槽内放置有用于放置掩膜版的托盘，所述底座的上端面在所述托盘槽的外围设置有若干下压组件，每个所述下压组件的下压执行部分位于所述托盘的上方。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：所述底座的侧面设置有与所述托盘槽连通的插入口。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：所述托盘的侧面设置有把手。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：所述托盘槽和托盘的形状均为矩形，所述托盘采用四条边组成的框架结构，框架外轮廓与所述托盘槽一致，框架内轮廓与所放置掩膜版的尺寸一致，框架内侧设置有用于托住掩膜版的支承板。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：所述支承板为设置在相邻两条边连接处内侧的三角板。

6.根据权利要求4所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：所述下压组件设置有四个，分别设置在所述托盘槽的四个角旁边。

7.根据权利要求1所述的一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，其特征在于：每个所述下压组件包括一个螺栓，所述螺栓与所述底座的上端面螺纹连接，所述螺栓的螺杆部分套设有一个卡扣，所述卡扣的前端位于所述托盘的上方，所述卡扣与所述螺栓的螺杆部分滑动配合或间隙配合，所述卡扣下方的螺杆部分套设有弹簧。