[实用新型]一种硅片归正机构

权利要求书

1.一种硅片归正机构，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)上相对滑动连接有第一导轮座(2)和第二导轮座(3)，位于所述第一导轮座(2)和第二导轮座(3)的水平方向设置有驱动第一导轮座(2)和第二导轮座(3)相向或相背运动的驱动组件，所述第一导轮座(2)的顶部转动连接有第一导轮(21)，所述第二导轮座(3)的顶部转动连接有第二导轮(31)，所述第一导轮(21)与第二导轮(31)所在的水平面与硅片的传送面平齐。

2.根据权利要求1所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述驱动组件包括转动连接在位于第一导轮座(2)和第二导轮座(3)外侧机架(1)上的第一带轮(41)和第二带轮(42)，所述第一带轮(41)下方的机架(1)上固定连接有驱动电机(44)，所述驱动电机(44)的输出轴与第一带轮(41)固定连接，所述第一带轮(41)通过皮带(43)传动连接于第二带轮(42)，所述第一导轮座(2)与第二导轮座(3)的输入端通过卡接组件(7)分别与皮带(43)固定连接且分别位于第一带轮(41)和第二带轮(42)所在轴线的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述卡接组件(7)包括固定连接于第一导轮座(2)和第二导轮座(3)输入端的卡接座(72)以及开设有卡槽的卡接板(71)，所述皮带(43)卡接于卡接板(71)的卡槽内，所述卡接板(71)与卡接座(72)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种硅片归正机构，其特征在于：位于所述第一带轮(41)和第二带轮(42)正下方的机架(1)底面固定连接有滑轨(9)，所述第一导轮座(2)和第二导轮座(3)均开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)与滑轨(9)滑动适配。

5.根据权利要求1所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述第一导轮(21)和第二导轮(31)均设置为若干个。

6.根据权利要求1所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述第二导轮座(3)的一侧固定连接有限位片(5)，位于所述限位片(5)正下方的机架(1)上可拆卸的连接有限位传感器(6)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述限位传感器(6)沿同一水平方向上设置为三组，所述限位传感器(6)包括左极限传感器(61)，原点传感器(62)，右极限传感器(63)，所述限位片(5)可依次经过左极限传感器(61)，原点传感器(62)，右极限传感器(63)并控制驱动组件的通断。

8.根据权利要求7所述的一种硅片归正机构，其特征在于：所述限位传感器(6)的底面固定连接有基座(10)，所述基座(10)与固定连接在机架(1)上的安装槽(65)滑动连接，所述基座(10)开设有导向孔，所述导向孔内套设有导向轴(64)。