[实用新型]一种用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置有效
申请号: | 202022478388.X | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN213951341U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 沈健民;王博;曾培源;李建稳 | 申请(专利权)人: | 南京源昌新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/26;C23C16/52;B22F9/26;B22F1/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 211500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 杂化碳 纳米 纤维 cvd 反应 装置 | ||
1.一种用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置,包括雾化器、气源、多管联排CVD反应器、管式炉和薄膜收集装置,其特征在于:所述多管联排CVD反应器直接安装在所述管式炉内,该多管联排CVD反应器包括大保护管、支撑管以及小反应管,所述小反应管以轴对称的堆积方式安置于大保护管内,并且环绕设置在所述大保护管中部设置的支撑管外围,每个小反应管进口端分别独立连接一个所述雾化器,所述雾化器包括雾化腔体和雾化喷头,所述雾化喷头设置在所述雾化腔体内部顶端,并且该雾化喷头通过输液管道连接溶液储罐,在所述雾化腔体一侧设置有载气入口,并且通过进气管道连接气源,与载气入口相对一侧的雾化空腔上设置有载气出口,该载气出口通过出气管道连接小反应管进口端,并且多个小反应管的出口端汇合形成杂化碳纳米管管束,并且通过人工将形成的杂化碳纳米管管束引导至薄膜收集装置内。
2.根据权利要求1所述的用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置,其特征在于:所述管式炉采用硅碳棒或者硅钼棒加热方式的水平管式炉。
3.根据权利要求1所述的用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置,其特征在于:所述气源由氢气钢瓶和高精度流量计所组成。
4.根据权利要求1所述的用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置,其特征在于:所述雾化喷头采用超声波喷头、压电喷头、二流体喷头或高速离心喷头中一种。
5.根据权利要求1所述的用于制备杂化碳纳米管纤维的CVD反应装置,其特征在于:所述薄膜收集装置由收集箱体和辊筒组成。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的