[实用新型]石英表面熏碳装置

权利要求书

1.一种石英表面熏碳装置，其特征在于，包括反应承载结构(1)、加热器、第一蒸发瓶(3)、保护气体气瓶(8)和导流组件，其中：

所述反应承载结构(1)内部具有容纳腔，用于盛放待熏石英件；所述加热器设置在所述反应承载结构(1)的外部；

所述第一蒸发瓶(3)通过所述导流组件分别连通所述容纳腔和保护气体气瓶(8)，并且所述导流组件延伸至所述容纳腔内部，所述导流组件上设有多个排气口(6)，所述待熏石英件位于所述多个排气口(6)的正下方。

2.根据权利要求1所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述反应承载结构(1)为两端开口的承载管，所述反应承载结构(1)的两端开口处分别设有真空法兰(7)。

3.根据权利要求2所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述加热器包括电炉丝(2)，所述电炉丝(2)沿周向设置在所述反应承载结构(1)的外侧。

4.根据权利要求1或2所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，还包括第二蒸发瓶(4)，所述第二蒸发瓶(4)为空瓶；所述第二蒸发瓶(4)与所述第一蒸发瓶(3)配合，并且所述第一蒸发瓶(3)通过所述第二蒸发瓶(4)外接所述保护气体气瓶(8)。

5.根据权利要求4所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述导流组件包括第一导流管、第二导流管和第三导流管，所述第一蒸发瓶(3)通过所述第二导流管连通所述第二蒸发瓶(4)，所述第二蒸发瓶(4)通过所述第一导流管外接保护气体气瓶(8)；所述第一蒸发瓶(3)通过所述第三导流管连通所述容纳腔，所述多个排气口(6)开设在延伸至所述容纳腔内的所述第三导流管上。

6.根据权利要求5所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述第三导流管的进气端连接在所述第一蒸发瓶(3)的顶部，所述第二导流管的出气端延伸至所述第一蒸发瓶(3)的底部；所述第二导流管的进气端连接在所述第二蒸发瓶(4)的顶部，所述第一导流管的出气端延伸至所述第二蒸发瓶(4)的底部；所述第一导流管的进气端连通所述保护气体气瓶(8)。

7.根据权利要求5所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述的装置还包括真空泵(5)，所述真空泵(5)通过第四导流管连通所述容纳腔，并且所述真空泵(5)位于与所述第一蒸发瓶(3)相对的一侧。

8.根据权利要求7所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述第一导流管上设有气体调节阀(9)，所述气体调节阀(9)与所述真空泵(5)配合。

9.根据权利要求7所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述第三导流管上设有气体流量计(10)。

10.根据权利要求9所述的石英表面熏碳装置，其特征在于，所述第四导流管上设有真空计(11)。