[实用新型]一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置

权利要求书

1.一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，包括冷却箱体(1)，其特征在于：所述冷却箱体(1)的侧壁均匀安装有三组保护气注入管(2)，且三组所述保护气注入管(2)的外端之间竖向安装有保护气注入接头(3)，所述保护气注入接头(3)的顶端与外界保护气注入管连接，所述冷却箱体(1)的内腔设置有冷却机构，所述冷却机构包括支撑底板(4)，所述支撑底板(4)的顶部焊接有环形滑轨(5)，所述环形滑轨(5)的顶部均匀卡接有多组限位滑块(6)，所述支撑底板(4)的顶部中间竖向安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的顶部输出端水平安装有输送支架(8)，所述输送支架(8)的顶部水平焊接有环形输送板(9)，所述环形输送板(9)与限位滑块(6)之间竖向安装有连接杆(10)，所述环形输送板(9)的顶部焊接有晶棒卡板(11)，所述支撑底板(4)的顶部竖向焊接有三组支撑侧板(12)，三组所述支撑侧板(12)的顶部分别焊接有一级冷却箱体(13)、二级冷却箱体(14)以及三级冷却箱体(15)，且一级冷却箱体(13)、二级冷却箱体(14)以及三级冷却箱体(15)均套接在环形输送板(9)的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，其特征在于：所述一级冷却箱体(13)、二级冷却箱体(14)以及三级冷却箱体(15)的结构相同，且一级冷却箱体(13)、二级冷却箱体(14)以及三级冷却箱体(15)的顶部均分别设置有温度传感器、PLC控制器和保护气管接口，所述温度传感器的探测端设置在一级冷却箱体(13)、二级冷却箱体(14)以及三级冷却箱体(15)的内腔，所述保护气管接口与保护气注入管(2)的内端连接，所述一级冷却箱体(13)上的PLC控制器中设定的冷却控制温度为200℃、二级冷却箱体(14)上的PLC控制器中设定的冷却控制温度为100℃、三级冷却箱体(15)上的PLC控制器中设定的冷却控制温度为25℃。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，其特征在于：所述限位滑块(6)的底部开设有与环形滑轨(5)相配合的限位卡槽，且限位卡槽与环形滑轨(5)之间为间隙配合，所述限位滑块(6)的顶部和环形输送板(9)的底部均焊接有与连接杆(10)相配合的固定套筒，且固定套筒与连接杆(10)之间通过螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，其特征在于：所述支撑底板(4)的顶部呈十字排列焊接有四组三角形卡板，且四组三角形卡板形成的空间与驱动电机(7)之间为过盈配合。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，其特征在于：所述输送支架(8)的顶部中间开设有与驱动电机(7)竖向轴端相配合阶梯插孔，且输送支架(8)平行于支撑底板(4)的顶部设置，所述输送支架(8)为十字形支架，且输送支架(8)的外端设置有向上的弯折。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置，其特征在于：所述晶棒卡板(11)的顶部均匀开设有与蓝宝石晶棒相配合的限位卡槽，三组所述支撑侧板(12)呈90°夹角设置。