[实用新型]一种用于氢气传感器的标定装置

说明书

本实用新型公开了一种用于氢气传感器的标定装置，包括测试台，所述测试台上设置直流电源，且所述直流电源的正极和负极均设置在测试台上，且在所述测试台上还设置测试管，所述测试管呈T型设置，且所述测试管上包括三个通孔，且所述通孔处分别设置快速夹具，且三个所述通孔通过快速夹具分别连接氢气传感器、进气管和出气管，且所述测试管的直径为40毫米，且所述测试台上还设置有气源，所述气源包括氢气浓度2％的氮氢混合气罐和氮气罐。即通过此标定装置，能进行氢气和氮气的通入，方便使用者利用此设备进行氢气传感器的标定，节省了时间，也节约了成本。

技术领域

本实用新型涉及标定设备领域，尤其涉及一种复合型的用于氢气传感器的标定装置。

背景技术

MOCVD(金属有机源化学气相沉积设备)，是一种在高温腔体内利用气相源进行化合物沉积的技术。技术要点为将衬底(蓝宝石、硅片等基板)放置于石墨盘上，在一定温度和压力下，通入化学元素周期表III/V族气体，III/V族气体会在衬底表面合成化合物，该化合物会沿衬底晶相沉积(俗称外延生长)。III/V族化合物沉积，需要氢气做为载气(即所谓的氢气氛围)，为了监测氢气是否从反应腔体内泄露，设备采用美国IST生产的氢气传感器来进行实时监测，探测器会输出4-20mA信号，此信号对应探测到的氢气浓度为0-4％。

而IST厂商建议，该氢气传感器每3个月需进行一次标定，然而，完成此标定工作存在一定难度：IST工厂在美国，在国内没有分公司，因此需将传感器寄送回美国，往返周期较长，严重耽误生产，而且IST对于标定是收取不菲的服务费；若超过3个月不进行标定，此传感器的零点会漂移，当零点漂移电流超过8mA时，设备会报警，若此报警发生在生产进行时，设备会停机，产品会报废。

因此本实用新型发明人，针对上述技术问题，旨在发明一种用于氢气传感器的标定装置。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于氢气传感器的标定装置。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于氢气传感器的标定装置，包括测试台，所述测试台上设置直流电源，且所述直流电源的正极和负极均设置在测试台上，且在所述测试台上还设置测试管，所述测试管呈T型设置，且所述测试管上包括三个通孔，且所述通孔处分别设置快速夹具，且三个所述通孔通过快速夹具分别连接氢气传感器、进气管和出气管，且所述测试管的直径为40毫米，且所述测试台上还设置有气源，所述气源包括氢气浓度2％的氮氢混合气罐和氮气罐，且所述氢气浓度2％的氮氢混合气罐和氮气罐能通过进气管将气体充入测试管内。

优选地，所述进气管设置两个，且两个进气管分别与氢气浓度2％的氮氢混合气罐、氮气罐连接。氢气浓度2％的氮氢混合气和氮气是分别单独通入的，氮气是吹扫气体，氢气浓度2％的氮氢混合气是标定气体。

优选地，所述快速夹具为卡箍。类似的通过抱箍、喉箍等实现测试管的可拆卸连接，当然主要的可拆卸部分是氢气传感器，通过快拆的方式，达到连续性的标定氢气传感器的目的。

优选地，所述快速夹具内还设置密封圈，且所述密封圈位于通孔边缘。即密封圈的设置在通孔与待连接件位置，保证连接的密封性，特别是主要通入的是气体，密封性能尤为重要。

优选地，所述通孔的边缘设置为凸环，且所述凸环的外侧设置倾斜面，且所述倾斜面的倾斜方向为自外向内倾斜。即参见附图，利用倾斜面配合快速夹具，保证稳定的夹持，防止出现内部气体泄漏的问题。

优选地，所述氢气传感器、进气管和出气管上也分别设置凸环。且凸环上也设置倾斜面，即与通孔上的凸环进行配合，实现稳定的连接。

本实用新型一种用于氢气传感器的标定装置的有益效果是，即通过此标定装置，能进行氢气和氮气的通入，方便使用者利用此设备进行氢气传感器的标定，节省了时间，也节约了成本。

附图说明

图1为用于氢气传感器的标定装置的测试管的结构示意图。