[实用新型]推舟装置以及推舟系统有效

专利信息
申请号: 202022483885.9 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN213660366U 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 张勇;李锐;罗伟斌;肖岳南 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 林明校
地址: 518118 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 装置 以及 系统
【权利要求书】:

1.推舟装置,用于将载片舟推入炉管设备的多个炉管内或者从所述炉管内推出,其特征在于,包括:

第一机架;

第一搬送部,安装到所述第一机架,可沿Z轴方向驱动;

至少一个第二搬送部,安装到所述第一搬送部并被所述第一搬送部驱动,所述第二搬送部可沿垂直于Z轴方向的X轴方向驱动;

至少一个第一承载部,用于承载所述载片舟,安装到所述第二搬送部并被所述第二搬送部搬运,以将所述载片舟推入所述炉管内或者从所述炉管内推出。

2.根据权利要求1所述的推舟装置,其特征在于,所述第二搬送部包括两个,分别安装到所述第一搬送部;所述第一承载部包括两个,分别安装到两个所述第二搬送部。

3.根据权利要求2所述的推舟装置,其特征在于,所述第一搬送部包括一个第一驱动部和两个沿Z轴方向导向的第一导向部,两个所述第一导向部分别安装到所述第一机架Y轴方向的两侧;两个所述第二搬送部分别安装到两个所述第一导向部,并分别和所述第一驱动部连接。

4.根据权利要求3所述的推舟装置,其特征在于,还包括第一连接部,所述第一连接部分别连接两个所述第二搬送部,并和所述第一驱动部连接。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的推舟装置,其特征在于,所述第二搬送部包括第二驱动部和第二导向部,所述第二导向部沿X轴方向导向,所述第一承载部安装到所述第二导向部,并和所述第二驱动部连接。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的推舟装置,其特征在于,两个所述第二搬送部包括两个第二导向部,两个所述第二导向部分别沿X轴方向导向,两个所述第一承载部分别安装到两个所述第二导向部;两个所述第二搬送部包括一个第二驱动部,两个所述第一承载部分别和所述第二驱动部连接。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的推舟装置,其特征在于,还包括第三搬送部,所述第三搬送部可沿分别垂直于Z轴方向和X轴方向的Y轴方向驱动,所述第一机架安装到所述第三搬送部。

8.根据权利要求7所述的推舟装置,其特征在于,所述第三搬送部包括沿Z轴方向间隔设置的两个,所述第一机架的Z轴方向的两端,分别安装到与其相邻的所述第三搬送部。

9.推舟系统,其特征在于,包括:

炉管设备,所述炉管设备具有一至四组炉管组,所述炉管组包括沿Z轴方向分布的多个炉管;

权利要求1至8中任一项所述的推舟装置,所述推舟装置分别将载片舟推入所述炉管内或者从所述炉管内推出。

10.根据权利要求9所述的推舟系统,其特征在于,所述炉管设备包括沿Y轴方向的多台,所述推舟装置包括一台,所述推舟装置分别将所述载片舟推入多台所述炉管设备的各所述炉管内或者从所述炉管内推出。

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