[实用新型]一种等离子清洗机

说明书

本实用新型涉及一种等离子清洗机，属于等离子清洗技术领域；包括箱体与箱门，箱体内由绝缘隔离装置分隔成多个清洗腔，每个清洗腔室内设有置物框架，置物框架由导电材料制成，包括正极导电半部与负极导电半部，负极导电半部与箱体电连接，正极导电半部与箱体外部的电源正极电连接且不与负极半部接触，置物框架被正极导电半部与负极导电半部分隔成了多个置物腔，箱体与箱门上设有气体导流装置，气体导流装置能够对每个置物腔进行供气与抽气；本实用新型提供了一种等离子清洗机，结构简单合理，空间利用率高，使用维护方便，气体分布均匀，气体电离与清洗效果好。

技术领域

本实用新型涉及一种等离子清洗机，属于等离子清洗技术领域。

背景技术

等离子清洗机多用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，现有的等离子清洗机结构设计不合理，清洗空间小，效率低下；等离子清洗机在工作时需要对气体进行电离，形成等离子体对物料进行清洗，现有的等离子清洗机内部导电线路复杂冗余，占用体积，日常使用维护非常不便，影响了生产效率，生产成本高；现有的等离子清洗机气流方向较为集中，气体扩散分布不均匀，气体电离效果差，清洗效果差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子清洗机，结构简单合理，空间利用率高，使用维护方便，气体分布均匀，气体电离与清洗效果好。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机，包括箱体与箱门，箱体内由绝缘隔离装置分隔成多个清洗腔，每个清洗腔室内设有置物框架，所述置物框架由导电材料制成，包括正极导电半部与负极导电半部，所述负极导电半部与箱体电连接，所述正极导电半部与箱体外部的电源正极电连接且不与负极半部接触，置物框架被正极导电半部与负极导电半部分隔成了多个置物腔，所述箱体与箱门上设有气体导流装置，所述气体导流装置能够对每个置物腔进行供气与抽气。

进一步地，所述气体导流装置包括设置在门板上的进气装置和设置在箱体上的抽气装置，所述进气装置包括多个进气孔，每个置物腔均对应有进气孔，所述抽气装置包括设置在进气孔对侧的导流夹层，所述导流夹层设置在箱体内且连通至箱体外部，所述导流夹层包括两层导流板，每个导流板上均阵列分布有多个贯通的抽气孔，靠近清洗腔的导流板上的抽气孔的孔径小于另一个导流板上抽气孔的孔径。

进一步地，所述绝缘隔离装置包括隔离板以及安装座，所述安装座设置在箱体内，所述隔离板与安装座可拆连接，所述箱门内侧设有箱门绝缘板，所述导流夹层为绝缘材质，所述隔离板、箱门绝缘板以及导流夹层之间形成了清洗腔，相邻的隔离板共用一个安装座。

进一步地，所述进气装置包括设置在箱门绝缘板上的进气管路，所述进气管路上开设有多个进气孔，所述进气管路与供气接口连通，所述供气接口设置在箱门上且与外部的供气机连通；

所述进气管路包括两根进气横管、设置在两根进气横管之间的进气竖管以及用于连接进气横管与供气接口的主供气管，对应置物腔的中间位置均设有进气竖管，所述进气竖管两端分别连通一进气横管，所述主供气管的两端分别与两个进气横管的中间位置连通，所述主供气管的中间位置与供气接口连通。

进一步地，所述正极导电半部包括正极导电顶板与正极导电墙板，所述负极导电半部包括负极导电层板与负极导电墙板，所述正极导电墙板与负极导电墙板均竖向设置，所述置物框架两端最外侧为负极导电墙板，相邻的两个负极导电墙板之间设有一正极导电墙板，所述置物框架顶部设有一水平的正极导电顶板，所述正极导电顶板与每个正极导电墙板电连接，所述正极导电顶板下方水平设置有负极导电层板，所述负极导电层板与负极导电墙板之间电连接，最下方的负极导电层板与箱体电连接，负极导电层板与正极导电顶板之间通过绝缘柱连接，所述箱体接地。