[实用新型]一种掩膜版表面缺陷检测装置

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体，所述设备本体内腔的顶部固定连接有丝杠，所述丝杠的表面滑动连接有进步电机，所述进步电机的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有激光发生器，所述激光发生器的底部固定连接有激光扫描器。通过设计的丝杠、进步电机、电动伸缩杆、激光发生器、激光扫描器等结构之间的相互配合下，可以对掩膜版表面的缺陷进行检测，增加设备对掩膜版表面缺陷检测的使用效果，也使得设备的实用性能增加，有效的解决了设备对掩膜版检测的工作效率下降设备的问题。

技术领域

本实用新型属于掩膜版检测装置技术领域，具体涉及一种掩膜版表面缺陷检测装置。

背景技术

掩模板是根据放大了的原图制备的带有透明窗口的模板。例如，可以用平整的玻璃板，涂覆上金属铬薄膜，通过类似照相制版的方法制备而成。具有微纳图形结构的掩模板通常使用电子束光刻机直接制备，其制作过程就是典型的光刻工艺过程，包括金属各层沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程

但是市场上现有的掩膜版的检测装置在进行使用时，无法有效的对研磨板表面的缺陷进行检测，使得设备的使用效果下降，进一步的降低了设备的实用性能，导致设备的对掩膜版检测的工作效率下降的问题，为此我们提出一种掩膜版表面缺陷检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜版表面缺陷检测装置，以解决上述背景技术中提出的市场上现有的掩膜版的检测装置在进行使用时，无法有效的对研磨板表面的缺陷进行检测，使得设备的使用效果下降，进一步的降低了设备的实用性能，导致设备的对掩膜版检测的工作效率下降的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体，所述设备本体内腔的顶部固定连接有丝杠，所述丝杠的表面滑动连接有进步电机，所述进步电机的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有激光发生器，所述激光发生器的底部固定连接有激光扫描器，所述设备本体内腔的中部固定连接有放置板，所述放置板的顶部固定连接有无尘布，所述设备本体的表面固定连接有箱门，所述箱门的表面固定连接有显示屏，所述箱门表面的一侧固定连接有把手。

优选的，所述设备本体的底部固定连接有水箱，所述水箱的内部固定连接有双头水泵，所述双头水泵的两侧固定连接有出水管，所述出水管的一端贯穿设备本体固定连接有雾化喷头，所述水箱顶部的一侧开设有排污口，所述排污口的底部固定连接有排污管，所述排污管的底部贯穿设备本体的底部固定连接有活塞。

优选的，所述设备本体两侧内壁的中部固定连接有支撑块，所述支撑块的顶部活动连接有放置板，所述放置板的表面开设有漏水孔。

优选的，所述设备本体的表面填充有聚氨酯防水涂层，所述聚氨酯防水涂层的表面填充有环氧树脂耐磨涂层。

优选的，所述出水管的数量有两个，两个所述出水管分别位于设备本体内壁两侧的底部。

优选的，所述双头水泵的底部固定连接有固定块，所述双头水泵通过固定块固定连接在水箱内腔的底部。

优选的，所述支撑块的数量有四个，四个所述支撑块以两个为一组分为两组，两组所述支撑块分别位于设备本体内壁两侧的中部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设计的丝杠、进步电机、电动伸缩杆、激光发生器、激光扫描器等结构之间的相互配合下，可以对掩膜版表面的缺陷进行检测，增加设备对掩膜版表面缺陷检测的使用效果，也使得设备的实用性能增加，有效的解决了设备对掩膜版检测的工作效率下降设备的问题。

2、通过设计的双头水泵、出水管、雾化喷头、排污口、排污管、活塞等结构之间的相互配合下，可以对在检测后的掩膜版进行有效的清洗，且在清洗完成后将污水排出，提高了设备清洗效果的同时，也使得设备的排污效果增加，有效的解决了设备在检测后，需要操作人员手动清洗的问题。