[实用新型]蒸发镀膜设备

说明书

本申请提供了蒸发镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。显著提高镀膜的质量。

分案申请

本申请是申请日2019年11月25日、发明创造名称“蒸发机构及蒸发镀膜设备”、申请号为201922075518.2的实用新型专利申请的分案申请。

相关申请

本申请要求了申请日为2019年4月9日、发明创造名称为“一种高速卷绕蒸发镀膜设备”、申请号为201910280953.0的发明专利的国内优先权。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及蒸发镀膜设备。

背景技术

现有真空蒸发镀膜设备一般通过向上流动的蒸镀蒸汽对基材进行镀膜。为了实现单次沉积更厚的镀层，一般通过降低膜速或加大蒸汽量来实现。但由于降低膜速会导致膜面打皱、变形甚至断膜；而加大蒸汽量会导致蒸发机构的功率和电流加大，蒸发机构会出现温度高、腐蚀快以及寿命短的情况，蒸镀膜则会出现不均匀的情况。

现有技术中，采用蒸发舟进行蒸发镀膜。为了加大蒸汽量，在加大蒸发舟的功率和电流时，蒸发舟会出现镀液飞溅增加，造成柔性膜表面附着有尖锐金属屑以及柔性膜穿孔，导致产品品质降低，综合成本上升。

实用新型内容

本申请的目的在于提供蒸发机构及蒸发镀膜设备，以改善加大蒸发舟的蒸汽量导致的蒸镀膜质量低的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种蒸发机构，包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。

第二方面，本申请实施例提供了一种蒸发机构，用于真空镀膜，包括蒸发槽、负极、第一蒸发舟组件以及第二蒸发舟组件。负极沿预设方向设置于蒸发槽的内部。第一蒸发舟组件包括第一蒸发舟和第一正极，第一正极位于负极的一侧，第一蒸发舟设置在第一正极和负极之间，第一蒸发舟的两端分别与第一正极和负极连接。第二蒸发舟组件包括第二蒸发舟和第二正极，第二正极位于负极的另一侧，第二蒸发舟设置在第二正极和负极之间，第二蒸发舟的两端分别与第二正极和负极连接。第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向交替设置，第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向的舟间距为30-100mm。

本申请对蒸发机构中蒸发舟的设置方式进行改变，将第一蒸发舟和第二蒸发舟交错设置于负极的两侧，在不改变蒸发舟结构的情况下，增大蒸发面积，提高镀膜的均匀性，并且该结构使得位于负极同一侧的相邻的两个蒸发舟的舟间距增大，提高蒸发舟的散热效果，延长蒸发舟的使用寿命。本申请发明人通过实验研究对相错设置的第一蒸发舟和第二蒸发舟的舟间距进行限定，得出舟间距在30-100mm范围内，可以较大程度的减少溅射带来的杂质和穿孔数量，可使镀膜的溅射针孔从每平方2-3个减少至0.1-0.5个，显著提高镀膜的质量。

在一种可能的实现方式中，第一蒸发舟和第二蒸发舟相互平行，可选的，第一蒸发舟和第二蒸发舟的顶面设置在同一个平面内。

第一蒸发舟和第二蒸发舟相互平行使得第一蒸发舟和第二蒸发舟产生的蒸汽分布均匀，且在同一个高度，当镀膜路径水平设置时，第一蒸发舟和第二蒸发舟的顶面与镀膜路径的距离相等。该结构有助于提高蒸发机构的蒸镀的均匀性。需要说明的是，本申请中的蒸汽为蒸发机构中的镀材产生的用于镀膜的蒸汽。