[实用新型]一种新型单晶炉有效
申请号: | 202022509778.9 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN213476153U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 尹朝洁 | 申请(专利权)人: | 弘朗新材料(上海)股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134 | 代理人: | 喻慧玲 |
地址: | 201607 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉 | ||
本实用新型涉及原料加工的技术领域,特别是涉及一种新型单晶炉,其通过设置此设备,可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性;包括单晶炉本体、固定架、控制器、温度表、炉盖、出料口、籽晶、单晶棒和第二底板,固定架安装在单晶炉本体前端,控制器安装在固定架上,温度表安装在单晶炉本体前端并与单晶炉本体相连通,炉盖外侧壁上设置有锁紧装置,出料口输出端与炉盖相连通,籽晶与外界的牵引装置连接,籽晶对单晶棒进行牵引,单晶炉本体底端设置有多组第一底板,多组第一底板底端均设置有弹簧,第二底板则安装在弹簧底端,控制器与单晶炉本体和温度表电连接。
技术领域
本实用新型涉及原料加工的技术领域,特别是涉及一种新型单晶炉。
背景技术
众所周知,单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉在运作过程中会产生震动,震动则会损坏设备,减少其实用寿命,而且现有的单晶炉盖子的密封性较差,导致实用性较低。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性的新型单晶炉。
本实用新型的一种新型单晶炉,包括单晶炉本体、固定架、控制器、温度表、炉盖、出料口、籽晶、单晶棒和第二底板,固定架安装在单晶炉本体前端,控制器安装在固定架上,温度表安装在单晶炉本体前端并与单晶炉本体相连通,炉盖外侧壁上设置有锁紧装置,炉盖通过多组锁紧装置固定在单晶炉本体顶端,出料口输出端与炉盖相连通,籽晶与外界的牵引装置连接,籽晶对单晶棒进行牵引,单晶炉本体底端设置有多组第一底板,多组第一底板底端均设置有弹簧,第二底板则安装在弹簧底端,控制器与单晶炉本体和温度表电连接。
本实用新型的一种新型单晶炉,锁紧装置包括第一底座、锁扣、第二底座、扳手和锁环,第一底座安装在固定架外侧壁上,锁扣安装在第一底座上,第二底座安装在单晶炉本体外侧壁上部,扳手与第二底座配合连接,锁环与扳手配合可转动连接,并且锁环与锁扣配合连接。
本实用新型的一种新型单晶炉,还包括多组伸缩管和多组伸缩杆,多组伸缩管分别安装在多组第二底板顶端,多组伸缩管分别安装在多组第一底板底端,并且多组伸缩杆在多组伸缩管上滑动。
本实用新型的一种新型单晶炉,单晶炉本体外侧壁上设置有多组吊环。
本实用新型的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体中部设置有保温层。
本实用新型的一种新型单晶炉,所述每组第二底板的底端均设置有橡胶防滑垫。
本实用新型的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体侧端设置有多组螺纹孔,多组吊环的内侧均设置有螺纹孔,螺杆与螺纹孔配合连接。
本实用新型的一种新型单晶炉,所述弹簧设置有八组,均匀分布在单晶炉本体底端。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为:将原料投入至单晶炉本体当中,然后将炉盖盖装在单晶炉本体顶端,使其通过多组锁紧装置来固定在单晶炉本体上,然后通过控制器打开单晶炉本体,使单晶炉本体对其内的原料进行加热使其熔化,单晶炉本体在运作时会产生震动,多组第一底板则跟随单晶炉本体震动,多组弹簧则发生弹力变形从而达到减震的效果,之后将籽晶伸入至单晶炉本体内的原料中,然后外界的牵引装置带动籽晶向上运动,原料则跟随籽晶运动形成单晶棒,通过设置此设备,可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的俯视结构示意图;
图3是图1中弹簧的放大结构示意图;
图4是图1中A的放大结构示意图;
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