[实用新型]一种太阳能扩散炉防尾排堵塞水瓶

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产领域。本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种太阳能扩散炉防尾排堵塞水瓶，包括瓶体1、瓶盖2、进气管3、出气管4、盖板8，瓶体1底部内侧四周有环状的内沿7，内沿7上安装密封的盖板8，瓶体1内侧底部有筒状的导气柱6，导气柱6顶部有半球形盖，半球形盖上有内外贯通的小孔，导气柱6下部周侧有内外贯通的小孔，盖板8、内沿7、瓶底组成导气空间，导气柱6下部周侧的小孔全部处于导气空间中，进气管3连通导气空间，出气管4处于瓶体1内部的一端有喇叭口，喇叭口倒扣悬空在半球形盖的正上方，出气管4上有排水口12，瓶体1内部充有高度大于内沿7高度小于排水口12高度的水。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产领域。

背景技术

在太阳能电池片的生产过程中，扩散为重要的工序，扩散后硅片的质量影响着电池片的主要性能。目前机台为负压扩散机台，炉内压力是进行工艺的重要管控因素，压力偏大或者偏小会直接影响到方阻。压力是通过尾气处理位置的泵来监控和实现。泵在抽负压的时候，尾气管的通畅情况会影响抽压效果，管路堵住后会导致压力抽不下去，压力不能达到设定值，就会造成返工。尾排堵住的主要原因是工艺产生的废气未能良好排空，在尾排管路处冷凝，造成管路堵塞。反应产生的主要物质为偏磷酸，可以利用水蒸气可以将偏磷酸稀释，稀释后的偏磷酸不易在尾排处凝结。机台本身设有水瓶作为改善，利用水蒸气将反应产生的废气稀释，在实际生产时，还是容易出现尾排堵住的情况。为了满足工艺需求需要频繁的进行尾排的保养，机台频繁维护会造成频繁停机，严重影响开机率。尾气处理部分主要器件材质为石英，增加维护频次后，维护动作增加，带来的是石英件损坏几率的上升。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何提供水瓶出气口携带的水蒸气含量。

本实用新型所采用的技术方案是：一种太阳能扩散炉防尾排堵塞水瓶，包括瓶体1、瓶盖2、进气管3、出气管4、盖板8，瓶体1底部内侧四周有环状的内沿7，内沿7上安装密封的盖板8，瓶体1内侧底部有筒状的导气柱6，导气柱6顶部有半球形盖，半球形盖上有内外贯通的小孔，导气柱6下部周侧有内外贯通的小孔，盖板8、内沿7、瓶底组成导气空间，导气柱6下部周侧的小孔全部处于导气空间中，进气管3连通导气空间，出气管4处于瓶体1内部的一端有喇叭口，喇叭口倒扣悬空在半球形盖的正上方，出气管4上有排水口12，瓶体1内部充有高度大于内沿7高度小于排水口12高度的水。

盖板8上有导气柱孔，盖板8由两层叠加二层，下面一层11为橡胶材料的通过活页9连接的两个半圆，上面一层10为塑料薄膜制备的圆，上面一层和下面一层粘贴在一起。

进气管3上有阀门5。

本实用新型的有益效果是：本实用新型增加了出气管水蒸气携带量，利用足量的水蒸气将反应产生的酸液稀释，让酸液沉积的冷凝瓶中，避免尾气处理管路堵住造成抽压异常。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是盖板结构示意图；

图3是图2的A-A剖面示意图；

图4是太阳能扩散炉尾气管道示意图；

其中，1、瓶体，2、瓶盖，3、进气管，4、出气管，5、阀门，6、导气柱，7、内沿，8、盖板，9、活页，10、上面一层，11、下面一层，12、太阳能扩散炉，13、抽气泵，14、残液罐，15、易堵塞管道，16、冷凝瓶。

具体实施方式

如图4所示，太阳能扩散炉12的尾气通过抽气泵（13）抽出后在残液罐14中吸收大部分的有害气体，然后通过管道进入净化塔中净化，从残液罐14到净化塔之间的管道属于容易堵塞的管道，为了防止堵塞，在易堵塞管道15上设置冷凝瓶，减少流速，使废气冷凝，防止管路堵塞，但是效果不明显仍然存在堵塞情况。