[实用新型]一种真空镀膜机的基材旋转装置有效
| 申请号： | 202022529124.2 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN213739658U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王盛基 | 申请（专利权）人： | 桐庐华亚钛金技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州伟知新盛专利代理事务所(特殊普通合伙) 33275 | 代理人： | 陈千楷 |
| 地址： | 311500 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 基材 旋转 装置 | ||
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括球形基材承台(1)，其特征在于：所述包括球形基材承台(1)顶部设置有镀膜坑(2)，且包括球形基材承台(1)内部设置有五组液压杆(5)，所述液压杆(5)输出端设置有与镀膜坑(2)配合的支撑盘(3)，且支撑盘(3)内部设置有四组电机(7)，所述电机(7)输出端设置有转动轴(13)，且转动轴(13)外侧套接有转动轮(10)，所述转动轮(10)之间连接有贯穿至支撑盘(3)顶部外侧的转珠(4)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述转动轴(13)外侧远离电机(7)一端设置有与转动轮(10)配合的固定端子(9)，且固定端子(9)与转动轴(13)之间采用螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述支撑盘(3)内部设置有转动腔(11)，且转动腔(11)内部设置有与转珠(4)配合的支撑顶杆(8)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述支撑盘(3)内部设置有四组与电机(7)配合的电机槽(12)，且电机槽(12)与电机(7)外侧底端采用螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述球形基材承台(1)内部设置有五组与液压杆(5)配合的液压槽(6)，且球形基材承台(1)内部设置有五组与支撑盘(3)配合的开槽。
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