[实用新型]一种真空镀膜机的笼架有效
申请号: | 202022529152.4 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213739659U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 王盛基 | 申请(专利权)人: | 桐庐华亚钛金技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 杭州伟知新盛专利代理事务所(特殊普通合伙) 33275 | 代理人: | 陈千楷 |
地址: | 311500 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 | ||
本实用新型公开了一种真空镀膜机的笼架,涉及真空镀膜机技术领域,包括顶部固定板,所述顶部固定板顶部设置有固定板,且固定板一端安装有电机,所述电机输出端设置有传动轴,且传动轴外侧设置有与顶部固定板转动连接的主动齿轮,所述顶部固定板顶部转动连接有三组与主动齿轮啮合的从动齿轮。本实用新型通过顶部万向接头、万向十字、上部万向接头、底部万向接头及万向接头底座组成斜向支撑,使挂杆斜置,极大地提高了良品率;本实用新型通过电机带动主动齿轮转动,从而带动从动齿轮转动,配合顶部万向接头、万向十字、上部万向接头、底部万向接头及万向接头底座,使斜杆转动,避免了传统斜杆笼架无法转动的弊病。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机的笼架。
背景技术
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术,将原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上,真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
但现有真空镀膜机内部的笼架多为竖直固定,不利于侧面镀膜,经常会导致镀膜不完整等情况,出现良品率低的弊病,且现有斜杆笼架多为固定笼架,加工效果差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:为了解决现有真空镀膜机笼架竖直固定良品率低、斜杆加工效果差的问题,提供一种真空镀膜机的笼架。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机的笼架,包括顶部固定板,所述顶部固定板顶部设置有固定板,且固定板一端安装有电机,所述电机输出端设置有传动轴,且传动轴外侧设置有与顶部固定板转动连接的主动齿轮,所述顶部固定板顶部转动连接有三组与主动齿轮啮合的从动齿轮,所述从动齿轮底部设置有贯穿顶部固定板顶部并与其转动连接的转动轴,所述转动轴延伸至顶部固定板底部一端设置有顶部万向接头,且顶部万向接头铰接有万向十字,所述顶部固定板底部设置有固定柱,且固定柱底部设置有底部固定板,所述底部固定板顶部转动连接有万向接头底座,且万向接头底座通过万向十字铰接有底部万向接头,所述底部万向接头顶部设置有挂杆,且挂杆顶部设置有与万向十字铰接的上部万向接头。
优选地,所述底部固定板开设有三组与万向接头底座配合的转轴槽,且转轴槽内部转动连接有三组与万向接头底座固定的转轴。
优选地,所述顶部固定板开设有与传动轴配合的轴槽,且顶部固定板内部开设有三组与转动轴配合的过孔。
优选地,所述固定柱与顶部固定板之间采用螺丝连接,且固定柱与底部固定板之间采用螺丝连接。
优选地,所述上部万向接头及底部万向接头皆开设有与挂杆配合的插槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过顶部万向接头、万向十字、上部万向接头、底部万向接头及万向接头底座组成斜向支撑,使挂杆斜置,极大地提高了良品率;
2、本实用新型通过电机带动主动齿轮转动,从而带动从动齿轮转动,配合顶部万向接头、万向十字、上部万向接头、底部万向接头及万向接头底座,使斜杆转动,避免了传统斜杆笼架无法转动的弊病。
附图说明
图1为本实用新型的外观示意图;
图2为本实用新型的主体示意图;
图3为本实用新型的结构剖视图;
图4为本实用新型的细节剖视图。
图中:1、顶部固定板;2、主动齿轮;3、电机;4、转动轴;5、从动齿轮;6、上部万向接头;7、挂杆;8、底部万向接头;9、顶部万向接头;10、固定柱;11、万向接头底座;12、底部固定板;13、转轴;14、万向十字;15、传动轴;16、转轴槽;17、固定板。
具体实施方式
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