[实用新型]一种对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置有效

专利信息
申请号: 202022532744.1 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN213150736U 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 梁猛;石洋 申请(专利权)人: 技感半导体设备(南通)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/60
代理公司: 上海远同律师事务所 31307 代理人: 张坚
地址: 226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 对应 基板涨缩 自动 位置 补偿 分布 装置
【权利要求书】:

1.一种对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,包括底板(100)、设于所述底板(100)上的用于放置基板(900)的植球台(200)、设于所述植球台(200)上方的位移机构(800),设于所述位移机构(800)上的印刷头(600)、植球头(400)与对位机构(300),所述印刷头(600)包括能够对所述基板(900)上胶的印刷治具(630),所述植球头(400)包括能够对所述基板(900)植球的植球治具(430),所述对位机构(300)能够对所述基板(900)进行定位,其特征在于:所述对位机构(300)能够对所述基板(900)上植球孔位置分布相同的多个区域(910)分别进行定位,所述印刷治具(630)底部具有与所述区域(910)植球孔位置分布相同的胶针(631),所述植球治具(430)底部具有与所述区域(910)植球孔位置分布相同的第一真空吸孔(440)。

2.按照权利要求1所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述位移机构(800)包括分置于所述植球台(200)上方两侧的两个纵向导轨(810),所述两个纵向导轨(810)上横跨设有第一活动梁(820)与第二活动梁(830),所述植球头(400)设于所述第一活动梁(820)上,所述印刷头(600)和对位机构(300)设于所述第二活动梁(830)上,所述第一活动梁(820)、第二活动梁(830)能够在所述纵向导轨(810)的驱动下进行沿所述纵向导轨(810)进行平移。

3.按照权利要求2所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述植球台(200)包括横向导轨(210)、设于所述横向导轨(210)上的滑台板(220)和连接所述滑台板(220)的放置架(240)。

4.按照权利要求2所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述纵向导轨(810)靠近所述第一活动梁(820)的一端设有铺球机构(500),所述铺球机构(500)包括铺球平台(510)、设于所述铺球平台(510)上的锡球盒(520)和用于驱动所述锡球盒(520)沿所述铺球平台(510)滑动的皮带驱动机构(540),所述锡球盒(520)的底面为敞口,所述铺球平台(510)上设有和所述基板(900)植球孔分布位置对应的第二真空吸孔(512)。

5.按照权利要求2所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述纵向导轨(810)靠近所述第二活动梁(830)的一端设有供胶槽(700),所述印刷治具(630)能够运行至所述供胶槽(700)的正上方。

6.按照权利要求3所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述放置架(240)包括活动侧板(241)和固定侧板(242),所述活动侧板(241)和固定侧板(242)的内表面上设有用于卡入所述基板(900)的卡槽(243),还包括设于所述活动侧板(241)和固定侧板(242)间的顶升气缸(250)和连接所述顶升气缸(250)的真空吸板(260)。

7.按照权利要求6所述的对应基板涨缩的自动位置补偿分布植球装置,其特征在于:所述放置架(240)与所述滑台板(220)之间通过旋转座(230)连接,所述滑台板(220)上设有丝杆导轨(221),所述丝杆导轨(221)包括丝杠、与所述丝杠啮合的螺母块(222),所述螺母块(222)与所述放置架(240)转动连接。

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