[实用新型]一种具备防护功能的等离子体刻蚀机

说明书

本实用新型公开了一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板和等离子体刻蚀机本体，所述承载板的顶部中端固定安装有风机，所述风机的输出端固定连接有通风槽，所述承载板的顶部两端均固定连接有壳体。本实用新型人们通过推杆和万向轮将本装置移动至指定位置后通过外置控制器启动等离子体刻蚀机本体进行工作，通过外置控制器启动风机，通过风机将风由通风槽输送进壳体的内部，通过空气注满通槽后，气压会推动通槽向上移动，通过通槽推动顶杆向上移动，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。

技术领域

本实用新型涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种具备防护功能的等离子体刻蚀机。

背景技术

等离子刻蚀机又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常的工作运行，为此，我们提出一种具备防护功能的等离子体刻蚀机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，具备防护功能的优点，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板和等离子体刻蚀机本体，所述承载板的顶部中端固定安装有风机，所述风机的输出端固定连接有通风槽，所述承载板的顶部两端均固定连接有壳体，所述通风槽的顶部固定连接于壳体的底部，所述承载板的两侧均固定连接有立柱，所述立柱的内侧滑动连接有隔板，所述隔板的内侧和等离子体刻蚀机本体的两侧呈固定连接，所述等离子体刻蚀机本体的底部四周均固定连接有顶杆，所述顶杆的底部滑动连接于壳体的内腔中。

优选的，所述隔板的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的底部固定连接于承载板的顶部。

优选的，所述立柱的内侧开设有滑槽，所述隔板的表面滑动连接于滑槽的内腔中。

优选的，所述承载板的底部通过轴承活动安装有万向轮，左侧所述立柱的左侧上方固定连接有推杆。

优选的，所述顶杆的底部固定连接有密封块，所述密封块的表面滑动连接于壳体的内腔中，所述壳体的内腔开设有限位槽，所述密封块的表面滑动连接于限位槽的内腔中，所述顶杆的内腔开设有通槽，所述承载板的顶部开设有放置槽，所述风机和放置槽的底部均固定连接于放置槽的内腔中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型人们通过推杆和万向轮将本装置移动至指定位置后通过外置控制器启动等离子体刻蚀机本体进行工作，通过外置控制器启动风机，通过风机将风由通风槽输送进壳体的内部，通过空气注满通槽后，气压会推动通槽向上移动，通过通槽推动顶杆向上移动，通过顶杆带动等离子体刻蚀机本体向上移动顶住滑槽进行固定，此时弹簧会发生形变，通过弹簧对隔板进行拉动，提高本装置的稳定性，达到了防护的效果，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。

2、本实用新型通过滑槽的设置，提高隔板的稳定性，避免隔板发生偏移，通过放置槽的设置，避免等离子体刻蚀机本体向下移动时，导致风机和壳体出现破损，通过通槽的设置，可将空气进行收集有助于顶杆向上移动，通过限位槽的设置，起到限位密封块的作用，提高顶杆的稳定性，避免出现顶杆发生晃动的现象，通过密封块的设置，提高顶杆在移动时与壳体的密封性，避免空气排出。

附图说明

图1为本实用新型结构主视图；

图2为本实用新型结构剖视图；

图3为本实用新型结构壳体剖视图。