[实用新型]一种插入式靶材旋转检测装置

说明书

本实用新型公开了一种插入式靶材旋转检测装置，包括工作台，所述工作台上设置有两条对应设置的轨道，所述轨道两侧均设置有第一驱动机构，所述第一驱动机构通过连接杆连接有固定装置，所述固定装置包括移动轴，所述移动轴上设置有多块移动板，所述工作台中心在两条轨道对应的位置设置有升降柱；所述工作台两侧设置有升降杆，所述升降杆之间设置有顶板，所述顶板上对应所述升降柱的位置设置有圆形轨道，所述圆形轨道内设置有两个沿滑轨周向对称分布的滑块，所述滑块下方设置有检测装置。本实用新型结构简单，固定结构好，可以对不同形状的靶材进行高精度的内轴检测，在操作的过程中也可以实现较好的固定效果。

技术领域

本实用新型涉及靶材制造设备领域，具体涉及一种插入式靶材旋转检测装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

而现有的靶材成品一般为中空轴状结构，其中而其内轴的要求需要根据客户的要求进行设定，若内轴各部结构不一致直接导致其上附着的靶材厚度无法达到要求，或表面不平整，直接影响成品的质量，因此针对靶材成品的内轴检测则是必要的工序，但是现有的检测结构手柄杆与检测的筒状体为一体式金属结构，只能针对某一规格的成品进行检测，形状专用的结构，无法针对不同规格成品进行检测。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种插入式靶材旋转检测装置，结构简单，固定结构好，可以对不同形状的靶材进行高精度的内轴检测，在操作的过程中也可以实现较好的固定效果。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种插入式靶材旋转检测装置，包括工作台，所述工作台上设置有两条对应设置的轨道，所述轨道两侧均设置有第一驱动机构，所述第一驱动机构通过连接杆连接有固定装置，所述固定装置包括移动轴，所述移动轴上设置有多块移动板，所述工作台中心在两条轨道对应的位置设置有升降柱；所述工作台两侧设置有升降杆，所述升降杆之间设置有顶板，所述顶板上对应所述升降柱的位置设置有圆形轨道，所述圆形轨道内设置有两个沿滑轨周向对称分布的滑块，所述滑块下方设置有检测装置。

进一步地，所述工作台下方设置有多个缓冲组件，所述缓冲组件包括多个液压杆，多个所述液压杆底端通过螺丝均布在地面上，多个所述液压杆上的伸缩杆通过螺丝固定有压块，所述压块通过螺丝固定在所述工作台下，多个所述液压杆的伸缩杆上套有压缩弹簧。

进一步地，所述检测装置包括第一气缸，所述第一气缸固定在所述滑块上，所述第一气缸底端设置有第二气缸，所述第二气缸上固定有检测头。

进一步地，所述固定装置还包括固定旋钮，所述固定旋钮设置在所述移动板的一侧。

进一步地，所述移动板靠近所述升降柱的一侧设置有橡胶层和压力传感器。

进一步地，所述第二气缸上还设置有位置传感器。

本实用新型的有益效果：本装置首先利用两边的固定装置对靶材进行固定，由于移动板可以移动，因此固定完成后移动板岁对应的形状便是靶材的外圆周形状，此举可以固定形状不同的靶材，适用范围广；之后采用滑块带动检测装置检测靶材的内圆周直径，从而避免因靶材表面不平整而导致靶材表面通过溅射所生成的薄膜厚度不均匀，造成资源浪费。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的工作台结构俯视图。