[实用新型]一种多晶硅铸锭炉石墨加热器有效
申请号: | 202022542091.5 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213476157U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 尹朝洁 | 申请(专利权)人: | 弘朗新材料(上海)股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134 | 代理人: | 喻慧玲 |
地址: | 201607 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 石墨 加热器 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,包括炉体(1)、三组支撑腿(2)、四组石墨支撑柱(3)、定向助凝块(4)、底部石墨加热器(5)、坩埚(6)、侧部石墨加热器(7)、上盖(8)、三组石墨连接柱(9)、顶部石墨加热器(10)和两组升降机构,三组支撑腿(2)的顶端均与炉体(1)的底端连接,炉体(1)的内部设置有顶端开口的腔室,四组石墨支撑柱(3)的底端均与炉体(1)的腔室底端连接,四组石墨支撑柱(3)的顶端均与定向助凝块(4)的底端连接,底部石墨加热器(5)的底端与定向助凝块(4)的顶端连接,坩埚(6)放置在底部石墨加热器(5)的顶端,侧部石墨加热器(7)套装在坩埚(6)的外侧,所述侧部石墨加热器(7)固定安装在炉体(1)的腔室内壁上,上盖(8)通过两组升降机构固定安装在炉体(1)的上方,上盖(8)的底端设置有凸台,所述上盖(8)的凸台外壁与炉体(1)的顶端开口内壁相匹配,三组石墨连接柱(9)的顶端均与上盖(8)的底端连接,三组石墨连接柱(9)的底端均与顶部石墨加热器(10)的顶端连接。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,每组升降机构包括支撑底座(11)、伸缩缸(12)和支耳(13),支撑底座(11)的侧壁与炉体(1)的外侧壁连接,支耳(13)的侧壁与上盖(8)的侧壁连接,伸缩缸(12)的底端与支撑底座(11)的顶端连接,伸缩缸(12)的顶端与支耳(13)的底端连接。
3.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,还包括支撑板(14)、氩气源(15)和输气管(16),支撑板(14)的侧壁与炉体(1)的外侧壁连接,氩气源(15)的底端与支撑板(14)的顶端连接,输气管(16)的输入端与氩气源(15)的输出端连通,输气管(16)的输出端延伸至炉体(1)的腔室内,并与炉体(1)的腔室连通。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,还包括加热箱(17)、排气管(18)、连接管(19)和出气管(21),加热箱(17)的底端与支撑板(14)的顶端连接,加热箱(17)的内部设置有空腔,加热箱(17)的侧壁设置有进气口,加热箱(17)的顶端设置有排气口,所述进气口和排气口均与加热箱(17)的空腔连通,输气管(16)贯穿加热箱(17)的空腔,在加热箱(17)空腔内的输气管(16)上设置有热交换管(20),所述热交换管(20)的两端均与输气管(16)连通,排气管(18)的输入端与加热箱(17)的排气口连通,连接管(19)的输出端与加热箱(17)的进气口连通,连接管(19)的输入端设置有风机(22),所述风机(22)与炉体(1)的外侧壁连接,炉体(1)的侧壁设置有出气口,所述出气口与炉体(1)的腔室连通,出气管(21)的输入端与炉体(1)的出气口连通,出气管(21)的输出端与风机(22)的输入端连通。
5.如权利要求4所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,还包括密封圈(23),上盖(8)底端凸台的外壁上设置有环形凹槽,密封圈(23)套装在上盖(8)的环形凹槽内。
6.如权利要求5所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,还包括控电箱(24)和控制面板(25),控电箱(24)的后端与炉体(1)的外壁连接,控电箱(24)的内部设置有内腔,所述控电箱(24)的内腔中设置有控制器,控制面板(25)的后端与控电箱(24)的前端连接。
7.如权利要求6所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其特征在于,还包括三组地脚(26),三组地脚(26)的顶端分别与三组支撑腿(2)的底端螺纹连接。
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