[实用新型]一种多功能靶材检测工装

说明书

本实用新型公开了一种多功能靶材检测工装，包括工作台和载物支架，工作台上设置有结构检测机构和平整度检测机构，结构检测机构包括设置在载物支架两端的第一气缸，第一气缸上均设置有仿形器，仿形器包括第一紧固装置、仿形装置和第二紧固装置，仿形装置设置在第一紧固装置和第二紧固装置之间，仿形装置包括多个仿形片，第一紧固装置与第二紧固装置之间设置有移动轴，仿形片可以在移动轴上来回运动；平整度检测机构包括设置在工作台上的框架，框架上设置有驱动机构，驱动机构上设置有移动块，移动块上对应载物支架的一面上设置有检测仪。本实用新型结构简单，可以同时检测出靶材的形状信息以及平整度信息，检测准确性高，使用效果好。

技术领域

本实用新型涉及靶材检测领域，具体涉及一种多功能靶材检测工装。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

由于靶材上下两个平面即使发生轻微的弯曲也会导致使用效果变差，因此在靶材使用前需要进行形状以及平整度的检测，现有的检测装置都是分为两个检测工位，每个工位检测一种信息，增加成本并且使用效率低下。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多功能靶材检测工装，结构简单，可以同时检测出靶材的形状信息以及平整度信息，检测准确性高，使用效果好。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多功能靶材检测工装，包括工作台和载物支架，所述工作台上设置有结构检测机构和平整度检测机构，所述结构检测机构包括设置在所述载物支架两端的第一气缸，所述第一气缸上均设置有仿形器，所述仿形器包括第一紧固装置、仿形装置和第二紧固装置，所述仿形装置设置在所述第一紧固装置和第二紧固装置之间，所述仿形装置包括多个仿形片，所述仿形片中间镂空，所述第一紧固装置与所述第二紧固装置之间设置有移动轴，所述仿形片可以在所述移动轴上来回运动；所述平整度检测机构包括设置在所述工作台上的框架，所述框架上设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有移动块，所述移动块上对应所述载物支架的一面上设置有检测仪。

进一步地，所述仿形器所在的水平高度略高于所述载物支架所在的水平高度。

进一步地，所述移动块上还设置有升降气缸，所述升降气缸的升降轴连接有一个平面板，所述检测仪设置在所述平面板上。

进一步地，所述仿形装置的长度设置为140mm-160mm。

进一步地，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，所述移动块上设置有与所述单向丝杆所对应的螺纹孔。

进一步地，所述驱动电机采用步进电机。

本实用新型的有益效果：本装置可以利用结构检测机构中的第一气缸带动仿形器对靶材进行仿形，仿形器可以固定上面的仿形片，因此可以准确地得到靶材的直径、弧度等形状大小信息，再利用平整度检测机构上的检测仪检测靶材表面的平整度即可得到平整度信息，测量准确性高。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的仿形器结构示意图。

图中标号说明：1、工作台；2、载物支架；3、结构检测机构；4、平整度检测机构；5、第一气缸；6、仿形器；7、第一紧固装置；71、底板；72、盖板；73、把手；8、仿形装置；81、仿形片；9、第二紧固装置；10、框架；11、驱动电机；12、移动块；13、检测仪；14、联轴器；15、单向丝杆；16、升降气缸；17、升降轴；18、平面板。

具体实施方式