[实用新型]一种镀膜机U型槽用气路机构

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机U型槽用气路机构，U型槽由底座和两侧对称倾斜设置的侧板所形成，沿着U型槽的延伸方向等距离的开设有若干个呈线性分布的通气孔，在所述U型槽的背面对应于所述通气孔的位置开设有贯通的气体管道，所述通气孔连通所述气体管道的内腔，所述气体管道的端部设有控制阀，所述控制阀的另一端与特气供应管路连接。本实用新型所改进的U形槽，通过在U形槽的背面设置的气体管路，并将该气体管路与特气管路采用可拆卸式的方式连接，便于发生故障时方便拆卸硅烷特气管路以减少排查时间。

技术领域

本实用新型属于镀膜机领域，具体涉及一种镀膜机U型槽用气路机构。

背景技术

在当前的光伏行业，受市场因素快速增长的影响，减少异常当机时间，降低排查维护时间，加快恢复生产的速度，对于提升电池片生产产能都有重要的影响。

在原有生产过程中，所使用的镀膜机中原有硅烷特气管路为直接固定在U形槽侧壁上，当发生管路堵塞时通入U形槽中的硅烷特气气流不稳，气体量不足，容易导致硅片上所镀膜颜色不均匀，导致不良品增多。现有技术在排查该异常时需停机，开腔，拆卸硅烷特气管路，检查结束后再进行安装拆卸浪费太多时间，大大增加排查维护时间，影响产能。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种能够方便拆卸硅烷特气管路的镀膜机用U型槽。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种镀膜机U型槽用气路机构，U型槽由底座和两侧对称倾斜设置的侧板所形成，沿着U型槽的延伸方向等距离的开设有若干个呈线性分布的通气孔，在所述U型槽的背面对应于所述通气孔的位置开设有贯通的气体管道，所述通气孔连通所述气体管道的内腔，所述气体管道的端部设有控制阀，所述控制阀的另一端与特气供应管路连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述的控制阀通过法兰与所述的气体管道相连，所述的控制阀通过快插接头与所述的硅烷特气供应管路连接。

作为本实用新型的进一步改进，还包括设置在连接端口位置处的密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述的气体管道的长度大于所述有通孔的总长。

作为本实用新型的进一步改进，所述的呈线性分布的通气孔设置在所述的U型槽的底板和两侧对称的侧板上。

作为本实用新型的进一步改进，所述的气体管道采用弧形片通过焊接的方式与所述U型槽的在对应于通气孔位置的外槽壁连接形成的空腔管路，其中，所述弧形片采用与所制作U型槽相同材料的，所述U型槽的在对应于通气孔位置的外槽壁被加工为凹陷形的弧形面。

本实用新型的有益效果：本实用新型所改进的U形槽，通过在U形槽的背面设置的气体管路，并将该气体管路与特气管路采用可拆卸式的方式连接，便于发生故障时方便拆卸硅烷特气管路以减少排查时间。

附图说明

图1为本实用新型U型槽的结构示意图；

图2为本实用新型U型槽的在图1中A面的剖面结构示意图；

图3为本实用新型的U型槽与特气供应管路在连接处（图1B处）的结构示意图；

其中：1-底座，2-侧板，3-通气孔，4-气体管道，5-控制阀，6-特气供应管路。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图对本实用新型的应用原理作详细的描述。