[实用新型]一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置有效

专利信息
申请号: 202022545249.4 申请日: 2021-05-11
公开(公告)号: CN213934277U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 王伟 申请(专利权)人: 山东交通学院
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250357 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 激光 并行 技术 制备 衍射 光栅 装置
【权利要求书】:

1.一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,包括飞秒激光系统、第一准直光阑,第二准直光阑,二分之一波片、格兰泰勒偏光镜、电子高速快门、第一计算机、第一凸透镜、针孔滤波器、第二凸透镜、双色镜、Dammann光栅、汇聚透镜、三维精密移动平台、附有金属膜的玻璃基片、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源;其特征是从飞秒激光系统出射的飞秒激光光束先后经过第一准直光阑、第二准直光阑、二分之一波片、格兰泰勒偏光棱镜、电子高速快门,电子高速快门通过控制器与第一计算机相连接,利用第一计算机中软件程序可以控制电子高速快门的开关;光束随后经过第一凸透镜、针孔滤波器、第二凸透镜、双色镜、Dammann光栅、汇聚透镜聚焦于固定在三维精密移动平台上的附有金属膜的玻璃基片上,双色镜与光路呈45度角放置,光束经过Dammann光栅后产生不同方向的衍射光束,随后经汇聚透镜聚焦于附有金属膜的玻璃基片形成多个能量均匀的聚焦光斑,照明光源照射样品表面,提供明亮视场,三维精密移动平台与第一计算机相连接,利用第一计算机可以控制三维精密移动平台定位和移动;双色镜的透射侧依次放置半透半反镜、CCD相机,半透半反镜与光路呈45度角放置,CCD相机与第二计算机相连接,半透半反镜的反射侧放置氦氖激光光源。

2.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的飞秒激系统是由振荡级、放大级构成的中心波长为1040nm的高功率高重复频率光子晶体光纤飞秒激光系统。

3.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的第一凸透镜、所述的第二凸透镜和所述的汇聚透镜均为消色差双凸透镜。

4.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的针孔滤波器可防止空中的灰尘,光学元件或激光本身散射干扰,并与所述的第一凸透镜和所述的第二凸透镜将飞秒激光光束转化为平面波。

5.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的双色镜是能实现飞秒激光光源覆盖波段全反射和可见光波段全透射的介质膜镜片。

6.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的Dammann光栅是根据需要制作的高破坏阈值1×N分束Dammann光栅。

7.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的三维精密移动平台和第一计算机相连接,通过第一计算机中LabView软件可对三维精密移动平台连同待加工附有金属膜的玻璃基片进行三维精密移动调节。

8.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的附有金属膜的玻璃基片是在玻璃基底上镀有单层金属膜的基片。

9.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置,其特征在于所述的CCD相机具有光学变焦功能,与第二计算机相连接可在第二计算机屏幕上实时观测加工过程。

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