[实用新型]一种集成电路加工生产用的抛光设备有效

专利信息
申请号: 202022545710.6 申请日: 2020-11-06
公开(公告)号: CN213532117U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 庞佳敏 申请(专利权)人: 新疆芯团科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/00;B24B55/06;B24B55/12;B24B41/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 广东省深圳市霍尔果斯市工业园*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成电路 加工 生产 抛光 设备
【权利要求书】:

1.一种集成电路加工生产用的抛光设备,包括台体(1),其特征在于:所述台体(1)的顶端固定连接有支撑柱(11),所述支撑柱(11)的一侧固定连接有连接柱(12),所述连接柱(12)一侧的底端固定连接有磨砂头(13),所述台体(1)的顶端固定安装有传送机构(2),所述传送机构(2)包括两个挡板(21),两个所述挡板(21)依次固定安装有滑轮(22),两个所述挡板(21)一侧的两端均通过轴承与对应滑轮(22)的外环壁固定连接,两个所述挡板(21)之间固定安装有传送带(23),所述传送带(23)的内壁与对应滑轮(22)的外环壁滑动连接,所述传送带(23)的外壁依次活动安装有电路板(24),两个所述挡板(21)底端的两侧均固定连接有支撑杆(25),四个所述支撑杆(25)的底端与台体(1)的顶端均固定连接,所述支撑柱(11)的一侧固定安装有回收机构(3),所述回收机构(3)包括空心箱(31),所述空心箱(31)的底端与台体(1)的顶端固定连接,所述空心箱(31)的顶端固定安装有金属密丝网(32),所述金属密丝网(32)顶端的一侧固定连接有固定块(33),所述金属密丝网(32)顶端的另一侧固定连接有挡块(34),所述固定块(33)的一侧固定连接有两个弹簧(35),两个所述弹簧(35)的一侧固定连接有限位块(36),所述空心箱(31)的底端固定连接有回收箱(37),所述回收箱(37)的顶端固定安装有抽风机(38)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路加工生产用的抛光设备,其特征在于:所述台体(1)底端的两侧均固定连接有支撑板(14),两个所述支撑板(14)底端的两侧均固定安装有万向轮。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路加工生产用的抛光设备,其特征在于:所述磨砂头(13)和抽风机(38)通过外接开关与外接电源电性连接,所述滑轮(22)通过外接开关与外接电机电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路加工生产用的抛光设备,其特征在于:两个所述挡板(21)的高度比对应滑轮(22)的高度高。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路加工生产用的抛光设备,其特征在于:两个所述弹簧(35)的外环壁固定安装有环套,且两个所述环套的内径与对应弹簧(35)的外径匹配设置。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路加工生产用的抛光设备,其特征在于:所述限位块(36)与挡块(34)的一端均固定安装有防水凸条,且所述回收箱(37)顶端的边角处与金属密丝网(32)的底端紧密连接。

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