[实用新型]一种具有天线安装结构的针塔及测试头

说明书

本实用新型涉及一种具有天线安装结构的针塔，通过在针塔的针座上设置通槽，通槽中安装有固定件，从而使天线稳固地卡置于针塔中。本实用新型还涉及具有所述针塔的测试头。本实用新型解决了天线装置在测试头中的安装问题，避免了现有技术中造成探针卡损坏的可能性；使得天线能更好、更多地接收/发射来自电子标签的无线信号，方便准确地进行探针卡信息的读取，大大提升了设备的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，特别涉及一种具有天线安装结构的针塔及测试头。

背景技术

集成电路的制作工艺复杂，投入成本也非常高昂，为保证集成电路芯片顺利量产，WAT(Wafer Acceptance Test, 晶圆允收测试)在集成电路量产中起到至关重要的作用，是集成电路生产中不容忽视的关键环节。WAT测试设备包括测试机和探针台，探针台上设置有测试头，测试头通过电缆与测试机稳定连接。此外，所述WAT测试设备还包括探针卡，探针卡是测试机与待测晶圆之间的媒介，探针卡上设置有探针，测试头上的弹簧针和探针卡上的探针接触连通，由此实现待测晶圆与测试机的连接并进行WAT测试。

在测试时，根据待测晶圆内部结构的不同需要选用不同的探针卡进行测试，为了对所述探针卡进行识别，通常在所述探针卡上设置信号识别装置，为了方便说明，本申请中以RFID为例。RFID等信号识别技术在金属环境中应用时，金属对读写器的反射性及屏蔽性使标签的读取率不稳定，且传统RFID识别WAT测试探针卡的方法是将RFID固定在探针卡上，占据了探针卡上方的空间，同时安装不当也会造成探针卡的损坏，限制了RFID技术的探针台上的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的全部或部分不足，提供一种安装方便、可以准确读取、方便用户及时了解探针卡信息的具有天线安装结构的针塔，以及包含所述针塔的测试头。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有天线安装结构的针塔，所述针塔与所述天线配合使用，所述天线包括但不限于RFID天线，为了方便说明，本申请中以RFID为例。

所述针塔包括弹簧针、弹簧针固定结构和针座，所述弹簧针通过弹簧针固定结构安装在所述针座中；

所述针座上开设有通槽，所述通槽中安装有固定件，所述固定件将所述天线安装于所述通槽中间，使天线稳固地卡置于针塔中，解决了天线装置在测试头中的安装问题，避免了现有技术中造成探针卡损坏的可能性。

所述针座优选为环形，且采用金属制成，其具有上表面、下表面、内表面和外表面，所述上表面为所述针座远离探针卡的一面，所述下表面为所述针座靠近探针卡的一面，所述内表面为所述针座靠近环形中心的一侧面，所述外表面为所述针座远离环形中心的一侧面。

所述通槽优选为在所述针座上径向设置，进一步地，所述通槽包括相互连通的第一通槽与第二通槽，所述第一通槽位于所述针座的上表面处，所述第二通槽位于所述第一通槽下方。

所述固定件优选为非金属固定件，以降低金属环境对信号探测的影响，进一步地，所述非金属固定件优选为非金属缓冲块或固定胶水。所谓缓冲就是金属固定件具有一定的弹性，可以形成过盈配合。

所述第一通槽两侧壁分别设有固定件，所述固定件为所述非金属缓冲块，所述非金属缓冲块靠近所述针座内表面的一面为斜面，两侧壁所述非金属缓冲块在所述针座内表面处形成喇叭状开口，以使天线能更好、更多地收发信号，进一步地，所述非金属缓冲块上也设置有弹簧针，从而增加了测试通道。

安装时，用粘接剂将所述天线固定在所述非金属缓冲块中间的位置；和/或所述非金属缓冲块的下表面宽度大于所述第一通槽单侧底面的宽度，所述非金属缓冲块与所述天线形成过盈配合，从而使所述天线稳固地卡置于所述非金属缓冲块中间。