[实用新型]一种薄膜电容器加工用的镀膜机锌炉

说明书

本实用新型属于薄膜电容器加工技术领域，且公开了一种薄膜电容器加工用的镀膜机锌炉，包括壳体，发热炉，且发热炉被壳体所包围，所述壳体的内部固定安装有冷却管，所述冷却管的左端口为进水口，所述冷却管的右端口为出水口。本实用新型通过将壳体设置成两端封闭的形状，将镀膜机锌炉内的发热炉封闭再其中，仅留下两端放置槽口不进行封闭，再对壳体内部的冷却管进行重新排列，使受热面大大增加，大大增加吸热能力，对整个发热炉的降温有显著改善，本实用新型改善了原有冷却罩散热过慢，吸收热量不彻底的问题，大大降低了热量的扩散，保护了其他结构不被过高的热量造成损害，降低了锌炉的损害率。

技术领域

本实用新型属于薄膜电容器加工技术领域，具体是一种薄膜电容器加工用的镀膜机锌炉。

背景技术

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，而蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

镀膜机锌炉因为通过高温加热蒸发靶材来进行镀膜，所以锌炉自身温度很高，锌炉内发热炉高温的扩散容易对其他机构造成损害，而现有技术中发热炉的冷却罩只是遮挡发热炉部分，容易造成高温从其他未遮挡的部分扩散，且冷却管的排列稀疏简单，冷却管的受热面很少，排热效果差，扩散与为吸收的高温容易使其他机构造成损害，造成经济的损失。

现有技术中因为壳体内冷却管经常冷热交替频繁，所以容易造成冷却管伸缩频繁金属容易老化，冷却管容易发生渗漏，对设备造成损害，而冷却管因为是固定在壳体内，所以拆卸起来十分麻烦，如果需要维修就要拆卸壳体，这样增加了维修人员的工作量，且耽误生产速度。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上问题，本实用新型提供了一种薄膜电容器加工用的镀膜机锌炉，具有更快散热、便于更换冷却罩的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种薄膜电容器加工用的镀膜机锌炉，包括壳体，发热炉，且发热炉被壳体所包围，所述壳体的内部固定安装有冷却管，所述冷却管的左端口为进水口，所述冷却管的右端口为出水口，所述进水口固定安装有进水管，所述出水口固定安装有出水管，所述冷却管从壳体的左侧后方底部开始进行弯曲盘绕，在左侧前方顶部开始向右弯折90°，在壳体的顶端内部进行横向盘绕，缠绕至顶端后方右侧后再向右弯折90°开始接着盘绕，直至从壳体的右侧前方底部穿出，所述发热炉的内部设有放置槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体内的冷却管为一根完整的管道，完整的管道可以使管内的水时时保持流动，使其散热更加迅速。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进水管的外表面固定套接有一号固定板，所述出水管的外表面固定套接有二号固定板，通过一号固定板和二号固定板可以与进水口和出水口端部连接板固定连接，用来方便更换冷却罩。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述一号固定板与进水口端口处的连接板和出水管与出水口端口处的连接板均通过螺栓可拆卸连接，通过螺栓固定可以快速更换冷却罩，达到了省时省力的特点。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述一号固定板和二号固定板的大小和形状均相同，且两者的顶面均开设有安装孔，开设有六个安装孔可以使用六个螺栓来固定，使其更加牢固紧密，保证不会漏水，损害设备。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进水口和出水口端部连接板的直径值分别小于一号固定板和二号固定板的直径值，因为高温的原因，不能在连接口处设置橡胶圈进行防水，所以将进水口与出水口的端部连接板的直径值设置为小于一号固定板和二号固定板的直径值，保证了更换新的冷却罩时进水口与出水口的端部连接板可以卡接在一号固定板和二号固定板内，使其更加紧密，再通过六个螺栓固定，可以使其密封，而不会漏水。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：