[实用新型]一种真空镀膜用基片载架夹持装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜用基片载架夹持装置，包括顶板，顶板下方两侧对称安装着两个侧板，所述侧板包括连接到顶板的导向块和与导向块平行的限位块，导向块上安装有定位柱，定位柱的数量不小于两个，定位柱穿过导向块，定位柱上安装着连接板，连接板位于靠近限位块的一侧，定位柱上安装有复位弹簧，复位弹簧的两个自由端分别固定在连接板和限位块上，限位块的外侧安装有电磁铁，电磁铁铁芯穿过限位块连接到连接板，限位块上开设有通孔，通孔与定位柱同轴且直径大于定位柱直径。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜用基片载架夹持装置，用于在真空镀膜过程中自动化地取放基片载架，提高真空镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种真空镀膜用基片载架夹持装置。

背景技术

现有的真空镀膜装置一般是将基片支架设置在真空镀膜腔内，需要进行镀膜时打开真空镀膜腔的侧门由人工将基片固定到基片支架上，装载基片的操作必须在开启真空镀膜腔侧门之后进行，由于基片需要固定在基片支架下方，其操作较为不便，且耗时较长，导致镀膜效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种真空镀膜用基片载架夹持装置，用于在真空镀膜过程中自动化地取放基片载架，提高真空镀膜效率。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种真空镀膜用基片载架夹持装置，包括顶板，顶板下方两侧对称安装着两个侧板，所述侧板包括连接到顶板的导向块和与导向块平行的限位块，导向块上安装有定位柱，所述定位柱的数量不小于两个，定位柱穿过导向块，定位柱上安装着连接板，连接板位于靠近限位块的一侧，所述定位柱上安装有复位弹簧，复位弹簧的两个自由端分别固定在连接板和限位板上，所述限位块的外侧安装有电磁铁，电磁铁铁芯穿过限位块连接到连接板，所述限位块上开设有通孔，所述通孔与定位柱同轴且直径大于定位柱直径。

上述的基片载架夹持装置，通过电磁铁拉动连接板使定位柱向外运动，使与该装置配套使用的基片载架能够进入侧板之间的间隙内，使基片载架上的定位孔与定位柱同轴，然后电磁铁断电，复位弹簧的弹力作用使定位柱向内运动进入定位孔内，从而完成对基片载架的夹持，电磁铁仅在夹持前和释放基片载架时通电，延长了电磁铁的使用寿命。

作为对本实用新型的改进，所述定位柱穿过导向块的一端为半球面，其作用在于：使定位柱能够顺利进入定位孔。

结合以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型所提供的一种真空镀膜用基片载架夹持装置，其有益效果是：

本实用新型所提供的基片载架夹持装置，能够自动化地夹持和释放基片载架，操作人员可以在真空镀膜前或者真空镀膜过程中将基片固定在基片载架上，减少真空镀膜过程中固定基片的时间，由于真空镀膜过程中基片载架被夹持的时间远长于夹持或释放基片载架过程的时间，使电磁铁在夹持前和释放时通电可以减少电磁铁的通电时间，延长了电磁铁的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种真空镀膜用基片载架夹持装置的结构示意图。

图2为本实用新型所述的连接块的安装位置示意图。

图3为本实用新型所述的基片载架的侧视图。

其中，1-顶板，2-基片载架，21-定位孔，3-侧板，31-导向块，32-限位块，321-导向孔，4-定位柱，5-电磁铁，51-铁芯，6-连接板，7-复位弹簧。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术特征和所实现的目的和效果，以下结合附图做进一步的描述: