[实用新型]一种配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构

权利要求书

1.一种配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，包括进料台、自动抓取组件、真空箱以及出料台，其特征在于：

所述进料台和出料台均采用电动丝杆副控制推移装有载盘的料盒定位至预定进料位置和出料位置，

所述自动抓取组件包括与进料台、出料台垂直布置的电动滑台、平行布置滑块滑轨组件以及抓取组件，所述抓取组件设有支撑架、升降气缸、抓取盒以及抓取气缸，所述支撑架一端垂直固定在电动滑台的滑块上，另一端与滑块滑轨组件的滑块固连，升降气缸固定在支撑架下端，并与抓取盒上端面固连，控制抓取盒上下升降指定高度，所述抓取盒下端无底板，两侧板下端还固连有抓取气缸，所述抓取气缸向内设有抓取臂，使得放置在料盒内的载盘以对位方式被抓取抬升，所述抓取盒两侧板内壁还设置有中转滑轨，所述中转滑轨包括倾斜向上的弧形段和水平推进的直线段，抓取盒另一对位侧板上均固连有推料气缸，所述推料气缸的顶杆水平方向正对载盘的侧面，使得被抓取臂抓取的载盘能够被推移至中转滑轨上，并且中转滑轨上的载盘亦可以被反向推移至抓取臂上。

2.根据权利要求1所述的配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，其特征在于：所述载盘对位侧面下端还设置有便于抓取臂夹取的凹槽。

3.根据权利要求1所述的配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，其特征在于：所述推料气缸前端设置有水平推移载盘的推料板。

4.根据权利要求1所述的配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，其特征在于：所述真空箱包括上掀箱和下底箱，所述上掀箱上端由导杆导套组件竖直限位，并由伸缩气缸控制上下移动，实现真空箱的开合。

5.根据权利要求1所述的配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，其特征在于：所述自动抓取组件按照工序需求可以阵列设置多组进行快速抓取。