[实用新型]简统化配置的掺杂剂掺杂装置及单晶炉有效
申请号: | 202022565411.9 | 申请日: | 2020-11-09 |
公开(公告)号: | CN213596457U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 周文辉 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/04 | 分类号: | C30B15/04;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 张淼 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 简统化 配置 掺杂 装置 单晶炉 | ||
1.一种简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:包括石英杯、导气管,所述石英杯包括杯本体、杯顶盖、杯底板、吊耳,所述杯本体为一上下开口的筒体,所述杯本体的上开口处盖合有杯顶盖,所述杯本体的下开口处盖合有杯底板,所述杯底板上密布透气孔,所述杯本体内腔盛放掺杂剂,在杯本体的顶部设有吊耳,所述导气管的上端与杯本体的下开口对接,所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接。
2.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述杯本体的环壁成锥形。
3.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述导气管的上端的直径与杯本体的下开口的直径相等。
4.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述导气管的下端的直径与石英坩埚的顶部开口的直径相等。
5.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述导气管的下端伸入至石英坩埚内腔,并与石英坩埚内的硅熔液液面接触。
6.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述导气管的纵截面成倒立的“T”字形。
7.如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述导气管包括上连接段、下连接段,所述上连接段为一直管,所述下连接段为梯形的喇叭口,所述上连接段的直径小于下连接段下端的直径。
8.一种单晶炉,其特征在于:包括副炉室,所述副炉室内设重锤、晶籽夹头、挂钩、提升机构以及如权利要求1所述的简统化配置的掺杂剂掺杂装置,所述挂钩包括钩部、连接部,所述挂钩的钩部与吊耳连接,所述挂钩的连接部与晶籽夹头连接,所述晶籽夹头与重锤连接,所述提升机构与重锤连接。
9.如权利要求8所述的单晶炉,其特征在于:所述单晶炉还包括主炉室,所述主炉室位于副炉室的下方,所述主炉室内安装有石英坩埚。
10.如权利要求9所述的单晶炉,其特征在于:所述单晶炉还包括隔离阀,所述隔离阀安装在主炉室和副炉室的连接处。
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