[实用新型]环境控制材料固持器

说明书

环境控制材料固持器可以将环境控制材料保持在晶片载体内，从而在固定所述环境控制材料的同时允许所述环境控制材料保护晶片不受潮。所述环境控制材料固持器可以包含底板和突片以限定用于固持环境控制材料的空间，并且可以被配置为与晶片盒的手柄接合。所述环境控制材料固持器可以保持一或多种环境控制材料。另外，所述环境控制材料固持器可以被配置为还保持湿度指示器。

技术领域

本实用新型是针对包含环境控制材料固持器的半导体衬底载体。

背景技术

晶片载体可以在例如处理之前或之后或处理步骤之间的一段时间内存储晶片。在此期间，水分可能会进入晶片载体。水分可能导致晶片载体内的晶片损坏或降解。

实用新型内容

本实用新型是针对包含环境控制材料固持器的半导体衬底载体。

通过使用位于诸如晶片载体或运输单元之类的半导体衬底载体内的环境控制材料固持器，可以将环境控制材料固定在晶片载体内。这允许保护晶片载体内的晶片不受潮，同时降低例如在运输或任何冲击事件(诸如掉落或其它突然加速或减速)期间松散元件在晶片载体内移动的风险。由此减少了损坏晶片的风险。

在一个实施例中，一种用于晶片载体的环境控制材料固持器包含底板和一或多个突片。所述一或多个突片中的至少一者包含被配置为与晶片盒的手柄接合的保持特征。所述底板和所述一或多个突片中的每一者间隔开，使得所述环境控制材料可以位于所述一或多个空间中的每一者内。

在一个实施例中，所述环境控制材料固持器进一步包含多个环境控制材料保持突片，所述多个环境控制材料保持突片从所述底板延伸并且配置为将所述环境控制材料保持在所述一或多个空间中的一者中。

在一个实施例中，所述一或多个突片是多个突片，并且所述底板包含在平面图中位于所述多个突片中的两者之间的通道。

在一个实施例中，所述环境控制材料固持器包含选自由以下项组成的组的至少一种聚合物材料：聚烯烃、聚醚醚酮(PEEK)、全氟烷氧基烷烃(PFA)及其组合。

在一个实施例中，所述环境控制材料固持器进一步包含环境控制材料。环境控制材料的非限制性实例包含干燥剂、离子吸收剂、挥发性有机化合物吸收剂或其组合中的至少一者。替代地，所述环境控制材料可以是执行多种功能(诸如用作干燥剂和离子吸收剂)的材料。在一个实施例中，所述环境控制材料包含硅胶、膨润土活性炭、硫酸钙、亚氯酸钙或沸石中的至少一者。

在一个实施例中，所述保持特征被配置为与所述晶片盒的所述手柄形成卡扣配合。

在一个实施例中，一种用于晶片载体的环境控制材料固持器包含销，所述销配置为与晶片盒的孔对接，所述销位于所述环境控制材料固持器的第一端处。所述环境控制材料固持器还包含固定特征，所述固定特征被配置为与晶片盒接合，所述固定特征位于所述环境控制材料固持器的与所述第一端相对的第二端处。然后，环境控制材料固持器进一步包含环境控制材料保持器，所述环境控制材料保持器包含一或多个梁。

在一个实施例中，所述环境控制材料保持器包含两个梁，所述梁中的每一者包含从所述梁延伸的保持突片。

在一个实施例中，所述环境控制材料保持器包含弯曲部分和笔直部分，所述弯曲部分从所述固定特征延伸到与所述笔直部分的接头，所述销位于所述笔直部分的端部处。在一个实施例中，所述笔直部分包含限定内部空间的侧壁。

在一个实施例中，所述环境控制材料固持器包含选自由以下项组成的组的至少一种聚合物材料：聚烯烃、聚醚醚酮(PEEK)、全氟烷氧基烷烃(PFA)及其组合。

在一个实施例中，所述环境控制材料固持器进一步包含环境控制材料，所述环境控制材料包含干燥剂、离子吸收剂或挥发性有机化合物吸收剂中的至少一者。在一个实施例中，所述环境控制材料包含硅胶、膨润土活性炭、硫酸钙、亚氯酸钙或沸石中的至少一者。