[实用新型]一种电子注入装置有效

专利信息
申请号: 202022567866.4 申请日: 2020-11-09
公开(公告)号: CN213184213U 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 刘晓勇;温长亮;韩兴;刘博明;曲玲玲 申请(专利权)人: 秦皇岛可视自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/423 分类号: H01L21/423;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18
代理公司: 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 代理人: 高爽
地址: 066006 河北省*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 电子 注入 装置
【权利要求书】:

1.一种电子注入装置,其特征在于,包括:

机架;

传送机构,设置在所述机架上,能够传送工件;

加热组件,可升降地设置在所述机架上,能够对所述工件加热;

压板,可升降地设置在所述机架的上方;

测温组件,可升降地设置在所述压板下侧;

电子注入组件,可升降地设置在所述压板下侧。

2.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,所述传送机构包括传送带,所述加热组件设置在所述传送带下侧,所述加热组件包括:

加热板,所述加热板内开设有加热槽;

加热电阻,均布在所述加热槽内;

盖板和底板,分别设置在所述加热板的两侧;

第一气缸,设置在所述机架上,伸缩端与所述底板相连接。

3.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,所述测温组件包括:

第二气缸,设置在所述压板上;

测温探头安装架,一端与所述第二气缸的伸缩端相连接;

测温探头,一端与所述测温探头安装架的另一端相连接,另一端设置有温度传感器;

所述压板上开设有第一通孔,所述第一通孔能够容纳所述测温探头和所述温度传感器穿过。

4.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,所述电子注入组件包括:

第三气缸,设置在所述压板上;

铜探针安装架,一端与所述第三气缸的伸缩端相连接;

铜探针,一端与所述铜探针安装架的另一端相连接;

所述压板上开设有第二通孔,所述铜探针的另一端活动设置在所述第二通孔内。

5.根据权利要求4所述的电子注入装置,其特征在于,所述铜探针安装架的所述另一端设置有安装块,所述安装块内开设有通孔,所述铜探针滑动穿设在所述通孔内,所述铜探针的一端连接有电源线,所述铜探针的另一端外侧设置有凸起部,所述凸起部与所述安装块之间设置有弹簧。

6.根据权利要求5所述的电子注入装置,其特征在于,所述铜探针的所述另一端外侧包裹有铜编织网。

7.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,还包括归正机构,所述归正机构包括:

第四气缸,设置在所述压板上;

连接板,一侧与所述第四气缸的伸缩端相连接;

第五气缸,设置在所述连接板的另一侧;

挡轮轴,与所述第五气缸的伸缩端相连接;

挡轮,套设在所述挡轮轴上与所述挡轮轴转动配合;

所述压板上开设有第三通孔,所述挡轮活动设置在所述第三通孔内。

8.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,所述压板通过升降机构与所述机架相连接,所述升降机构包括:

第六气缸,设置在所述机架两侧;

升降支架,设置在所述第六气缸的两侧,一端与所述机架相连接,另一端开设有长腰孔;

滑动杆,所述滑动杆的两端滑动设置在所述长腰孔内,所述滑动杆与所述第六气缸的伸缩端相连接;

提升板,设置在所述压板的两侧,所述提升板与所述滑动杆相连接;

顶升机构,包括分别设置在所述压板上下两侧的第七气缸和顶升板,所述第七气缸的伸缩端贯穿所述压板与所述顶升板相连接。

9.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,所述压板下侧设置有隔热缓冲层。

10.根据权利要求1所述的电子注入装置,其特征在于,还包括稳压电源和控制单元,所述稳压电源与所述电子注入组件相连接,所述控制单元与所述传送机构、加热组件、测温组件和电子注入组件相连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于秦皇岛可视自动化设备有限公司,未经秦皇岛可视自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022567866.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top